Plaquette SiC de type N de 6 pouces

Brève description :

La plaquette SiC de type N de 6 pouces de VET Energy est un substrat haute performance conçu pour les applications avancées de semi-conducteurs, offrant une conductivité thermique et une efficacité énergétique supérieures. VET Energy utilise une technologie de pointe pour produire des plaquettes de haute qualité qui répondent aux exigences rigoureuses de l'électronique moderne, garantissant ainsi la fiabilité et la durabilité des dispositifs électriques.


Détail du produit

Mots clés du produit

Cette plaquette SiC de type N de 6 pouces est conçue pour des performances améliorées dans des conditions extrêmes, ce qui en fait un choix idéal pour les applications nécessitant une puissance élevée et une résistance à la température. Les principaux produits associés à cette plaquette comprennent Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer et SiN Substrate. Ces matériaux garantissent des performances optimales dans une variété de processus de fabrication de semi-conducteurs, permettant ainsi des dispositifs à la fois économes en énergie et durables.

Pour les entreprises travaillant avec des plaquettes Epi, de l'oxyde de gallium Ga2O3, des cassettes ou des plaquettes AlN, la plaquette SiC de type N de 6 pouces de VET Energy fournit la base nécessaire au développement de produits innovants. Qu'il s'agisse d'électronique de haute puissance ou de la dernière technologie RF, ces plaquettes garantissent une excellente conductivité et une résistance thermique minimale, repoussant les limites de l'efficacité et des performances.

6h-36
6h-35

SPÉCIFICATIONS DES PLAQUETTES

*n-Pm = type N Pm-Grade, n-Ps = type N Ps-Grade, Sl = semi-isolant

Article

8 pouces

6 pouces

4 pouces

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV(GBIR)

≤6um

≤6um

Arc (GF3YFCD)-Valeur absolue

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Chaîne(GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2μm

Bord de la plaquette

Biseautage

FINITION DE SURFACE

*n-Pm = type N Pm-Grade, n-Ps = type N Ps-Grade, Sl = semi-isolant

Article

8 pouces

6 pouces

4 pouces

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

Finition de surface

Polissage optique double face, Si- Face CMP

Rugosité de surface

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm
Face C Ra≤ 0,5 nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm
Face C Ra≤0,5 nm

Puces de bord

Aucun autorisé (longueur et largeur≥0,5 mm)

Retraits

Aucun permis

Rayures (Si-Face)

Quantité ≤5, cumulatif
Longueur≤0,5×diamètre de la plaquette

Quantité ≤5, cumulatif
Longueur≤0,5×diamètre de la plaquette

Quantité ≤5, cumulatif
Longueur≤0,5×diamètre de la plaquette

Fissures

Aucun permis

Exclusion de bord

3mm

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