Comment nettoyer un bateau en graphite PECVD ? | VET Energy

1. Accusé de réception avant le nettoyage

1) Lorsque leBateau en graphite PECVDAprès 100 à 150 utilisations du support, l'opérateur doit vérifier régulièrement l'état du revêtement. En cas d'anomalie, un nettoyage et une analyse sont nécessaires. La couleur normale du revêtement d'une plaquette de silicium dans le support en graphite est bleue. Si la plaquette présente une autre couleur, plusieurs couleurs, ou une différence de couleur importante entre les plaquettes, le revêtement est anormal et la cause de cette anomalie doit être déterminée sans délai.
2) Après le traitement, le personnel analyse l'état du revêtement deBateau en graphite PECVD/porte-cartes, ils détermineront si le bateau en graphite doit être nettoyé et si le point de carte doit être remplacé, et le bateau/porte-cartes en graphite qui doit être nettoyé sera remis au personnel d'entretien pour le nettoyage.

 

3) Après lebateau en graphiteSi le support est endommagé, le personnel de production retirera toutes les plaquettes de silicium contenues dans le creuset en graphite et utilisera de l'air comprimé (CDA) pour trier les fragments.bateau en graphiteUne fois l'opération terminée, le personnel en charge de l'équipement le transférera dans le réservoir d'acide préalablement préparé avec une certaine proportion de solution d'HF pour le nettoyage.

 

2. Nettoyage d'un bateau en graphite

Il est recommandé d'utiliser une solution d'acide fluorhydrique à 15-25 % pour trois cycles de nettoyage, d'une durée de 4 à 5 heures chacun, en insufflant périodiquement de l'azote pendant le trempage et le nettoyage, ce qui prolonge le processus d'environ une demi-heure. Remarque : il est déconseillé d'utiliser directement de l'air comme gaz d'insufflation. Après le décapage, rincer à l'eau pure pendant environ 10 heures et s'assurer que le bateau est parfaitement propre. Après le nettoyage, vérifier la surface du bateau, les points de fixation en graphite, les joints de tôle et autres pièces afin de s'assurer de l'absence de résidus de nitrure de silicium. Sécher ensuite conformément aux instructions.

3. Précautions de nettoyage

A) L'acide fluorhydrique étant une substance hautement corrosive et volatile, il est dangereux pour les opérateurs. Par conséquent, ces derniers doivent prendre des précautions de sécurité et être encadrés par une personne dédiée au poste de nettoyage.

B) Il est recommandé de démonter le bateau et de ne nettoyer que les parties en graphite, afin de permettre un nettoyage plus approfondi de chaque pièce en contact avec le produit. Actuellement, de nombreux fabricants nationaux utilisent un nettoyage complet, pratique certes, mais l'acide fluorhydrique étant corrosif pour les pièces en céramique, ce type de nettoyage réduit leur durée de vie.