1. Accusé de réception avant nettoyage
1) Lorsque leBateau en graphite PECVD/carrier est utilisé plus de 100 à 150 fois, l'opérateur doit vérifier l'état du revêtement à temps. S'il y a un revêtement anormal, il doit être nettoyé et confirmé. La couleur normale du revêtement de la plaquette de silicium dans le bateau/support en graphite est le bleu. Si la tranche a des couleurs multiples non bleues, ou si la différence de couleur entre les tranches est importante, il s'agit d'un revêtement anormal et la cause de l'anomalie doit être confirmée à temps.
2) Une fois que le personnel du processus a analysé l'état du revêtement duBateau en graphite PECVD/transporteur, ils détermineront si le bateau en graphite doit être nettoyé et si la pointe de la carte doit être remplacée, et le bateau/transporteur en graphite qui doit être nettoyé sera remis au personnel de l'équipement pour le nettoyage.
3) Après lebateau en graphite/le support est endommagé, le personnel de production retirera toutes les tranches de silicium du bateau en graphite et utilisera du CDA (air comprimé) pour trier les fragments dans lebateau en graphite. Une fois terminé, le personnel de l'équipement le soulèvera dans le réservoir d'acide qui a été préparé avec une certaine proportion de solution HF pour le nettoyage.
2. Nettoyage de bateau en graphite
Il est recommandé d'utiliser une solution d'acide fluorhydrique à 15-25 % pour trois cycles de nettoyage, chacun pendant 4 à 5 heures, et de faire barboter périodiquement de l'azote pendant le processus de trempage et de nettoyage, en ajoutant environ une demi-heure de nettoyage ; Remarque : il n'est pas recommandé d'utiliser l'air directement comme source de gaz pour le bouillonnement. Après le décapage, rincez à l'eau pure pendant environ 10 heures et vérifiez que le bateau a été soigneusement nettoyé. Après le nettoyage, veuillez vérifier la surface du bateau, la pointe de la carte graphite et le joint de la tôle du bateau, ainsi que d'autres pièces pour voir s'il y a des résidus de nitrure de silicium. Sécher ensuite selon les besoins.
3. Précautions de nettoyage
A) L'acide HF étant une substance hautement corrosive et présentant une certaine volatilité, il est dangereux pour les opérateurs. Les opérateurs du poste de nettoyage doivent donc prendre des précautions de sécurité et être gérés par une personne dédiée.
B) Il est recommandé de démonter le bateau et de nettoyer uniquement la partie en graphite lors du nettoyage, afin de pouvoir nettoyer plus en profondeur chaque pièce de contact. À l'heure actuelle, de nombreux fabricants nationaux utilisent un nettoyage global, ce qui est pratique, mais comme l'acide HF est corrosif pour les pièces en céramique, le nettoyage global réduira la durée de vie des pièces correspondantes.
Heure de publication : 23 décembre 2024