La plaquette de silicium de 12 pouces pour la fabrication de semi-conducteurs proposée par VET Energy est conçue pour répondre aux normes précises requises dans l'industrie des semi-conducteurs. En tant que l'un des produits phares de notre gamme, VET Energy garantit que ces plaquettes sont produites avec une planéité, une pureté et une qualité de surface exactes, ce qui les rend idéales pour les applications de semi-conducteurs de pointe, notamment les micropuces, les capteurs et les appareils électroniques avancés.
Cette plaquette est compatible avec une large gamme de matériaux tels que Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate et Epi Wafer, offrant une excellente polyvalence pour divers processus de fabrication. De plus, il s'associe bien à des technologies avancées telles que l'oxyde de gallium Ga2O3 et l'AlN Wafer, garantissant ainsi son intégration dans des applications hautement spécialisées. Pour un fonctionnement fluide, la plaquette est optimisée pour être utilisée avec les systèmes de cassettes standard de l'industrie, garantissant une manipulation efficace dans la fabrication de semi-conducteurs.
La gamme de produits de VET Energy ne se limite pas aux plaquettes de silicium. Nous fournissons également une large gamme de matériaux de substrat semi-conducteur, notamment le substrat SiC, la plaquette SOI, le substrat SiN, la plaquette Epi, etc., ainsi que de nouveaux matériaux semi-conducteurs à large bande interdite tels que l'oxyde de gallium Ga2O3 et la plaquette AlN. Ces produits peuvent répondre aux besoins d'application de différents clients dans les domaines de l'électronique de puissance, des radiofréquences, des capteurs et d'autres domaines.
Domaines d'application :
•Puces logiques :Fabrication de puces logiques hautes performances telles que CPU et GPU.
•Puces mémoire :Fabrication de puces mémoire telles que DRAM et NAND Flash.
•Puces analogiques :Fabrication de puces analogiques telles que ADC et DAC.
•Capteurs :Capteurs MEMS, capteurs d'images, etc.
VET Energy fournit à ses clients des solutions de plaquettes personnalisées et peut personnaliser des plaquettes avec différentes résistivités, différentes teneurs en oxygène, différentes épaisseurs et autres spécifications en fonction des besoins spécifiques des clients. De plus, nous fournissons également une assistance technique professionnelle et un service après-vente pour aider les clients à optimiser les processus de production et à améliorer le rendement des produits.
SPÉCIFICATIONS DES PLAQUETTES
*n-Pm = type N Pm-Grade, n-Ps = type N Ps-Grade, Sl = semi-isolant
Article | 8 pouces | 6 pouces | 4 pouces | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Arc (GF3YFCD)-Valeur absolue | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Chaîne(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Bord de la plaquette | Biseautage |
FINITION DE SURFACE
*n-Pm = type N Pm-Grade, n-Ps = type N Ps-Grade, Sl = semi-isolant
Article | 8 pouces | 6 pouces | 4 pouces | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Finition de surface | Polissage optique double face, Si- Face CMP | ||||
Rugosité de surface | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Puces de bord | Aucun autorisé (longueur et largeur≥0,5 mm) | ||||
Retraits | Aucun permis | ||||
Rayures (Si-Face) | Quantité ≤5, cumulatif | Quantité ≤5, cumulatif | Quantité ≤5, cumulatif | ||
Fissures | Aucun permis | ||||
Exclusion de bord | 3mm |