Substrats/supports en graphite avec revêtement en carbure de silicium pour semi-conducteurs

Description courte :

Le suscepteur en graphite revêtu de SiC de VET Energy est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue durée. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une grande uniformité thermique, une pureté élevée et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.

Lieu d'origine :Zhejiang, Chine (continentale)

Numéro de modèle :Bateau3004

Composition chimique :graphite recouvert de SiC

Résistance à la flexion :470 MPa

Conductivité thermique :300 W/mK

Qualité:Parfait

Fonction:CVD-SiC

Application:Semiconducteur / Photovoltaïque

Densité:3,21 g/cm³

Dilatation thermique :4 10-6/K

Cendre: <5 ppm

Échantillon:Disponible

Code SH :6903100000

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Le suscepteur en graphite revêtu de SiC est un composant essentiel utilisé dans divers procédés de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à notre technologie brevetée, nous produisons un suscepteur d'une pureté extrêmement élevée, présentant une excellente uniformité de revêtement et une durée de vie optimale, ainsi qu'une résistance chimique et une stabilité thermique élevées.

Caractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700℃.
2. Pureté élevée et uniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, bases, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques fondamentales du SiC CVDrevêtement
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure cristalline	Phase β de la structure cubique à faces centrées (CFC)多晶，主要为（111)
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
晶粒大小 / Taille du grain	2~10 μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
热容 / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 Module de Young	430 Gpa flexion 4 points, 1300℃
导热系数 / ThermielConductivité	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy est le véritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec différents revêtements comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc., et peut fournir diverses pièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.

Notre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Nous développons en permanence des procédés avancés pour fournir des matériaux plus performants et avons mis au point une technologie brevetée exclusive qui permet de rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.

Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, pourrons en discuter plus en détail !