Substrat en graphite recouvert de carbure de silicium pour semi-conducteur, suscepteur MOCVD

Brève description :

Le suscepteur à revêtement SiC VET Energy est un produit haute performance conçu pour fournir des performances constantes et fiables sur une période prolongée. Il présente une très bonne résistance à la chaleur et une uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes.

Lieu d'origine :Zhejiang, Chine (continentale)

Numéro de modèle :Numéro de modèle :

Composition chimique :Graphite revêtu de SiC

Résistance à la flexion :470Mpa

Conductivité thermique :300 W/mK

Qualité:Parfait

Fonction:CVD-SiC

Application:Semi-conducteur/Photovoltaïque

Densité:3,21 g/cc

Dilatation thermique :4 10-6/K

Cendre: <5 ppm

Échantillon:Disponible

Code SH :6903100000

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Détail du produit

Mots clés du produit

Suscepteur à revêtement SiC VET Energyest une solution hautes performances méticuleusement conçue pour offrir des performances fiables et constantes sur une durée de vie prolongée, répondant aux exigences rigoureuses de la fabrication de semi-conducteurs. Doté d'une résistance thermique exceptionnelle, d'une uniformité thermique supérieure et d'une pureté élevée, ce produit est idéal pour les supports de plaquettes MOCVD et d'autres applications de traitement de plaquettes nécessitant stabilité et précision. Sa robuste résistance à l’érosion en fait un choix privilégié pour les environnements où la durabilité et la résilience chimique sont essentielles.

NotreSuscepteur en graphite revêtu de SiCse présente comme un composant essentiel dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, tirant parti de la technologie brevetée exclusive de VET Energy pour atteindre une pureté extrêmement élevée, une uniformité de revêtement supérieure et une stabilité thermique remarquable. Le revêtement améliore le substrat en graphite avec une résistance chimique élevée et une durée de vie considérablement prolongée. L'engagement de VET Energy envers la qualité a abouti à un suscepteur à revêtement SiC qui répond aux besoins changeants du marché des supports de plaquettes de graphite, établissant une norme élevée pour les suscepteurs en graphite à revêtement SiC utilisés dansProcessus MOCVD.

Principales caractéristiques des suscepteurs à revêtement SiC :

1. Résistance à l’oxydation à haute température :Résiste à des températures allant jusqu'à 1 700 ℃, ce qui le rend adapté aux conditions de traitement extrêmes.

2. Haute pureté et uniformité thermique :Garantit des résultats cohérents, essentiels pourSuscepteurs du MOCVDet d'autres applications de précision.

3. Excellente résistance à la corrosion :Résilient aux acides, aux alcalis, au sel et à divers réactifs organiques.

4. Dureté de surface améliorée :Surface compacte avec de fines particules qui offrent une durabilité et une longévité supérieures.

5. Durée de vie prolongée :Conçu pour des performances durables, surpassant les suscepteurs standard recouverts de carbure de silicium dans les environnements de traitement difficiles.

En tant que fabricant leader, VET Energy se spécialise dans le graphite personnalisé etproduits en carbure de siliciumavec diverses options de revêtement, y comprisRevêtement SiC, revêtement TaC, revêtement de carbone vitreuxet revêtement en carbone pyrolytique. Nous sommes fiers de servir les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque, en fournissant des suscepteurs en graphite recouverts de carbure de silicium qui répondent à des exigences opérationnelles spécifiques.

Notre équipe technique, forte de l'expérience des plus grandes institutions de recherche nationales, se consacre à l'avancement de solutions matérielles pour les besoins changeants duSuscepteur en graphite recouvert de SiCmarché. Grâce à notre procédé breveté, VET Energy a développé une technologie unique qui améliore considérablement la force de liaison entre le revêtement en carbure de silicium et le substrat, réduisant ainsi le risque de détachement et améliorant la fiabilité à long terme.

Applications et avantages dans le traitement des semi-conducteurs

LeRevêtement SiC pour MOCVDpermetsuscepteur de graphitecomposants pour maintenir leur intégrité dans des environnements à haute température et corrosifs, ce qui est vital pour la production de semi-conducteurs de précision. Ces composants en graphite recouverts de SiC sont particulièrement appréciés dans les processus nécessitant des suscepteurs recouverts de carbure de silicium poursupports de plaquettes de graphite, qui exigent une stabilité thermique, une pureté et une résistance élevées à l’érosion chimique.

Grâce à nos techniques avancées de revêtement en carbure de silicium, VET Energy continue de soutenir le marché des supports de plaquettes de graphite en fournissant des produits personnalisés et de haute performance.Suscepteurs en graphite recouverts de SiCqui répondent aux défis spécifiques à l'industrie, des processus MOCVD aux applications de haute pureté dans le domaine des semi-conducteurs.