Le support de revêtement SiC pour RTP/RTA est un composant clé utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs appelés traitement thermique rapide et recuit. Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer le support en carbure de silicium avec une pureté extrêmement élevée, une bonne uniformité de revêtement et une excellente durée de vie, ainsi que des propriétés de haute résistance chimique et de stabilité thermique.
Caractéristiques de nos produits :
1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700℃.
2. Pureté élevée et uniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, bases, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques fondamentales du SiC CVDrevêtement | |
| 性质 / Propriété | 典型数值 / Valeur typique |
| 晶体结构 / Structure cristalline | Phase β de la structure cubique à faces centrées (CFC)多晶，主要为（111) |
| 密度 / Densité | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureté | 2 500 维氏硬度 (charge de 500 g) |
| 晶粒大小 / Taille du grain | 2~10 μm |
| 纯度 / Pureté chimique | 99,99995% |
| 热容 / Capacité thermique | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Température de sublimation | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Résistance à la flexion | 415 MPa RT 4 points |
| 杨氏模量 Module de Young | 430 Gpa flexion 4 points, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermielConductivité | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy est le véritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec différents revêtements comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc., et peut fournir diverses pièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.
Notre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.
Nous développons en permanence des procédés avancés pour fournir des matériaux plus performants et avons mis au point une technologie brevetée exclusive qui permet de rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.
Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, pourrons en discuter plus en détail !
