Revêtement SiC/Substrat/Plateau en graphite revêtu pour semi-conducteurs

Image mise en avant d'un substrat/plateau en graphite revêtu de SiC pour semi-conducteurs

Description courte :

Le suscepteur en graphite revêtu de SiC de VET Energy pour la croissance épitaxiale est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue durée. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une uniformité thermique remarquable, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Revêtement SiC/revêtement de suscepteur en graphite pour semi-conducteur

LeSubstrat en graphite recouvert de SiCest une solution extrêmement durable et efficace, conçue pour répondre aux exigences rigoureuses de l'industrie du traitement des semi-conducteurs. Elle comporte une couche de haute puretérevêtement en carbure de silicium (SiC)Ce substrat offre une stabilité thermique exceptionnelle, une résistance à l'oxydation et une durée de vie prolongée, ce qui le rend idéal pour les applications dans les procédés MOCVD, les supports de plaquettes en graphite et autres environnements à haute température.

Caractéristiques:
• Excellente résistance aux chocs thermiques
• Excellente résistance aux chocs physiques
• Excellente résistance chimique
· Pureté extrêmement élevée
· Disponible sous forme complexe
Utilisable sous atmosphère oxydante

Application:

Caractéristiques et avantages du produit :

1. Résistance thermique supérieure:Avec une pureté élevéerevêtement SiCLe substrat résiste aux températures extrêmes, garantissant des performances constantes dans des environnements exigeants tels que l'épitaxie et la fabrication de semi-conducteurs.

2. Durabilité accrue:Les composants en graphite revêtus de SiC sont conçus pour résister à la corrosion chimique et à l'oxydation, augmentant ainsi la durée de vie du substrat par rapport aux substrats en graphite standard.

3. Graphite recouvert de verre:La structure vitreuse unique derevêtement SiCoffre une excellente dureté de surface, minimisant l'usure lors du traitement à haute température.

4. Revêtement en SiC de haute pureté:Notre substrat garantit une contamination minimale dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs sensibles, offrant une fiabilité aux industries exigeant une pureté des matériaux rigoureuse.

5. Large application commerciale:Lesuscepteur en graphite revêtu de SiCLe marché continue de croître à mesure que la demande de produits de pointe revêtus de SiC augmente dans la fabrication de semi-conducteurs, positionnant ce substrat comme un acteur clé à la fois sur le marché des supports de plaquettes en graphite et sur celui des plateaux en graphite revêtus de carbure de silicium.

Propriétés typiques du graphite de base :

Densité apparente :	1,85 g/cm3
Résistivité électrique :	11 μΩm
Résistance à la flexion :	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureté Shore :	58
Cendre:	<5 ppm
Conductivité thermique :	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques fondamentales du SiC CVDrevêtement
Accueil / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure Cristalline	Phase β FCC
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
Taille des grains / Taille des grains	2~10 μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
Capacité / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 / Module de Young	430 Gpa flexion 4 points, 1300℃
导热系数 / Conductivité thermique	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansion thermique (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy est le véritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec différents revêtements comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc., et peut fournir diverses pièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.

Notre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Nous développons en permanence des procédés avancés pour fournir des matériaux plus performants et avons mis au point une technologie brevetée exclusive qui permet de rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.

Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, pourrons en discuter plus en détail !