Revêtement SiC/substrat/plateau en graphite enduit pour semi-conducteur

Brève description :

Le suscepteur en graphite à revêtement SiC VET Energy pour la croissance épitaxiale est un produit haute performance conçu pour fournir des performances constantes et fiables sur une période prolongée. Il présente une très bonne résistance à la chaleur et une uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Revêtement SiC/revêtu de suscepteur en graphite pour semi-conducteur

LeSubstrat de graphite enduit de SiCest une solution hautement durable et efficace conçue pour répondre aux exigences rigoureuses de l'industrie de transformation des semi-conducteurs. Doté d'une couche de haute puretérevêtement en carbure de silicium (SiC), ce substrat offre une stabilité thermique, une résistance à l'oxydation et une durée de vie prolongée exceptionnelles, ce qui le rend idéal pour les applications dans les processus MOCVD, les supports de tranches de graphite et d'autres environnements à haute température.

Caractéristiques:
· Excellente résistance aux chocs thermiques
· Excellente résistance aux chocs physiques
· Excellente résistance chimique
· Très haute pureté
· Disponibilité sous forme complexe
·Utilisable sous Atmosphère Oxydante

Application:

Caractéristiques et avantages du produit :

1. Résistance thermique supérieure:D'une grande puretéRevêtement SiC, le substrat résiste à des températures extrêmes, garantissant des performances constantes dans des environnements exigeants tels que l'épitaxie et la fabrication de semi-conducteurs.

2. Durabilité améliorée:Les composants en graphite revêtus de SiC sont conçus pour résister à la corrosion chimique et à l'oxydation, augmentant ainsi la durée de vie du substrat par rapport aux substrats en graphite standard.

3. Graphite à revêtement vitreux:La structure vitreuse unique duRevêtement SiCoffre une excellente dureté de surface, minimisant l'usure lors du traitement à haute température.

4. Revêtement SiC de haute pureté:Notre substrat garantit une contamination minimale dans les processus de semi-conducteurs sensibles, offrant ainsi une fiabilité aux industries qui exigent une pureté rigoureuse des matériaux.

5. Large application sur le marché:LeSuscepteur en graphite revêtu de SiCLe marché continue de croître à mesure que la demande de produits avancés à revêtement SiC dans la fabrication de semi-conducteurs augmente, positionnant ce substrat comme un acteur clé à la fois sur le marché des supports de plaquettes de graphite et sur le marché des plateaux en graphite revêtus de carbure de silicium.

Propriétés typiques du matériau de base en graphite :

Densité apparente :	1,85 g/cm3
Résistivité électrique :	11 μΩm
Résistance à la flexion :	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureté Shore :	58
Cendre:	<5 ppm
Conductivité thermique :	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

MCV SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du CVD SiCrevêtement
Accueil / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure Cristalline	Phase β FCC
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
Taille des grains / Taille des grains	2~10μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
Capacité / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 / Module de Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / Conductivité thermique	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansion thermique (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy est le véritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec différents revêtements tels que le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement de carbone vitreux, le revêtement de carbone pyrolytique, etc., et peut fournir diverses pièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.

Notre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Nous développons continuellement des processus avancés pour fournir des matériaux plus avancés et avons élaboré une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus serrée et moins sujette au détachement.

Bienvenue chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !