Suscepteurs de supports de plaquettes MOCVD en graphite à revêtement SiC

Brève description :

Le suscepteur MOCVD à revêtement SiC de VET Energy pour la croissance épitaxiale est un produit haute performance conçu pour fournir des performances constantes et fiables sur une période prolongée. Il présente une très bonne résistance à la chaleur et une uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes.

Envoyez-nous un e-mail Télécharger au format PDF

Détail du produit

Mots clés du produit

Revêtement SiC graphite MOCVD Supports/suscepteurs de plaquettes

Tous nos suscepteurs sont fabriqués en graphite isostatique à haute résistance. Bénéficiez de la grande pureté de nos graphites – développés spécialement pour des processus exigeants tels que l'épitaxie, la croissance des cristaux, l'implantation ionique et la gravure au plasma, ainsi que pour la production de puces LED.

Caractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700 ℃.
2. Haute pureté et uniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Haute dureté, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

MCV SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du CVD SiCrevêtement
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure Cristalline	Phase β du FCC多晶，主要为（111)
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
晶粒大小 / TAILLE DES GRAINS	2~10μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
热容 / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 / Module de Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / ThermesjeConductivité	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansion thermique (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy est le véritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec différents revêtements tels que le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement de carbone vitreux, le revêtement de carbone pyrolytique, etc., et peut fournir diverses pièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.

Notre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Nous développons continuellement des processus avancés pour fournir des matériaux plus avancés et avons élaboré une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus serrée et moins sujette au détachement.

Bienvenue chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !