Supports de plaquettes MOCVD en graphite revêtus de SiC

Description courte :

Le suscepteur MOCVD revêtu de SiC de VET Energy pour la croissance épitaxiale est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue durée. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une uniformité thermique remarquable, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.

 


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