Nacelle en quartz de haute pureté pour le traitement des plaquettes

Bateau à plaquettes de quartzCe support est un outil essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs, la production de cellules photovoltaïques et la recherche et le développement de matériaux avancés. Conçu pour un transfert et un positionnement stables des plaquettes lors de procédés à haute température, il est composé de silice fondue (SiO2) ultra-pure. Ce matériau présente une excellente résistance à la température, une grande stabilité chimique et un taux de contamination métallique extrêmement faible. Il est compatible avec les fours de diffusion, les fours d'oxydation, les procédés PECVD/LPCVD et autres équipements, et est largement utilisé pour le revêtement de plaquettes, l'implantation ionique, le recuit à haute température et d'autres procédés fondamentaux.

Les principaux avantages du bateau à quartz de VET Energy :

• Matériau de très haute pureté
  Pureté ≥99,99 % : Teneur en impuretés (Na, K, Fe, etc.) < 5 ppm, évitant la contamination des plaquettes et garantissant le rendement des puces.
  Faible précipitation et adsorption : la surface est super-polie (Ra≤0,4μm) pour réduire l'adhérence des particules et les résidus de gaz.
• stabilité à haute température
  Limite de température : Température de fonctionnement à long terme de 1100℃, pic à court terme de 1300℃, aucune déformation, aucune précipitation de cristaux.
  Faible coefficient de dilatation thermique (5,5x10-7/℃), excellente résistance aux chocs thermiques, adaptable aux processus de montée et de descente rapides en température (par exemple, recuit rapide RTP).
• Conception structurelle précise
  Précision de la fente ±0,1 mm : adaptation des plaquettes de 2" à 12", erreur d'uniformité d'espacement < 0,05 mm, garantissant l'absence de décalage des plaquettes.
  Capacité de charge élevée : Charge maximale de 50 plaquettes (en termes de plaquettes de 12 pouces) dans un seul bateau, permettant un transfert stable de plaquettes minces (≥100 µm).
• inertie chimique
  Résistance à la corrosion : Résistant à la corrosion par les acides (sauf HF), les alcalis et les solvants organiques, compatible avec le procédé de nettoyage CMP.
  Excellente étanchéité aux gaz : taux de fuite < 5 x 10⁻¹⁰ Pa.m³/s, convient aux environnements sous vide et sous gaz protecteur.
• Longue durée de vie et facilité d'entretien
  Durée de vie ≥ 5000 cycles (conditions de travail normales), la surface peut être nettoyée et utilisée à plusieurs reprises, réduisant ainsi le coût global.
  Conception modulaire : permet le remplacement partiel (par exemple, une seule dent de bateau), réduisant ainsi les temps d’arrêt.

Nous proposons des surfaces transparentes et dépolies selon les exigences du client :

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie spécialisée dans la production et la vente de matériaux de pointe, notamment le graphite, le carbure de silicium, la céramique et les traitements de surface tels que les revêtements SiC, TaC, carbone vitreux et carbone pyrolytique. Ces produits sont largement utilisés dans les secteurs du photovoltaïque, des semi-conducteurs, des énergies nouvelles, de la métallurgie, etc.

Notre équipe technique est issue des meilleurs instituts de recherche nationaux et a développé de nombreuses technologies brevetées pour garantir la performance et la qualité des produits ; elle peut également fournir à ses clients des solutions de matériaux professionnelles.