L'énergie de l'EFPSuscepteur MOCVD à revêtement SiCest un produit haute performance conçu pour des performances constantes et fiables dans les applications de traitement de plaquettes. Doté d'un supérieurRevêtement SiC, il offre une résistance thermique, une uniformité thermique et une résistance à la corrosion exceptionnelles. Idéal pourÉquipement MOCVD, cesuscepteur recouvert de carbure de siliciumassure une qualité optimaletranchecroissance et durée de vie prolongée des équipements.
Caractéristiques du produit :
1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700 ℃: Notre revêtement SiC offre une stabilité thermique exceptionnelle, même dans les environnements MOCVD les plus exigeants.
2. Haute pureté et uniformité thermique: Le suscepteur en carbure de silicium garantit un minimum d'impuretés et un chauffage constant sur toute la tranche, garantissant une qualité cristalline supérieure.
3. Excellente résistance à la corrosion: Résistant aux acides, aux alcalis, aux sels et aux réactifs organiques, notre suscepteur maintient son intégrité dans divers environnements chimiques.
4. Dureté élevée, surface dense et particules fines: Ces propriétés contribuent à une durée de vie plus longue et à une durabilité accrue.
Avantages et applications de nos produits revêtus de carbure de silicium CVD
Les suscepteurs MOCVD offrent des avantages significatifs dans la fabrication de semi-conducteurs. Le revêtement SiC améliore la qualité des plaquettes, réduit les défauts et optimise l'efficacité de la production. VET Energy fournit une large gamme de produits en carbure de silicium adaptés aux besoins spécifiques des industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque.
Personnalisation du produit et support technique
En tant que fabricant leader de produits en carbure de silicium et en graphite, VET Energy propose des solutions personnalisées avec divers revêtements tels que SiC, TaC, carbone vitreux et carbone pyrolytique. Notre équipe expérimentée peut vous fournir des conseils et une assistance d’experts pour votre application spécifique.