Plateau et couvercle en graphite revêtus de carbure de silicium

Description courte :

Le revêtement en carbure de silicium et graphite de VET Energy (plaque et couvercle) est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur le long terme. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une uniformité thermique optimale, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.

 

 


Détails du produit

Étiquettes de produit

VET EnergyPlateau en graphite revêtu de carbure de siliciumLa plaque et le couvercle sont conçus pour offrir des performances de haut niveau, garantissant un fonctionnement fiable et constant même après une utilisation prolongée, ce qui en fait un choix essentiel pour les applications de traitement de plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs.Plaque de graphite revêtue de carbure de siliciumCe matériau présente une résistance thermique exceptionnelle, une uniformité thermique supérieure et une stabilité chimique remarquable, notamment à haute température. Sa composition de haute pureté, associée à une résistance avancée à l'érosion, le rend indispensable pour les environnements exigeants tels que…suscepteurs MOCVD.

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Caractéristiques principales du revêtement en carbure de silicium pour plateau, plaque et couvercle en graphite

1. Résistance à l'oxydation à haute température :Résiste à des températures allant jusqu'à 1700 °C, ce qui lui permet de fonctionner de manière fiable dans des conditions extrêmes.

2. Pureté élevée et uniformité thermique :Une pureté élevée et constante ainsi qu'une répartition uniforme de la chaleur sont cruciales pour les applications MOCVD.

3. Résistance exceptionnelle à la corrosion :Résistant aux acides, aux alcalis, aux sels et à divers réactifs organiques, assurant une stabilité à long terme dans des environnements variés.

4. Dureté élevée et surface compacte :Présente une surface dense composée de fines particules, améliorant la durabilité globale et la résistance à l'usure.

5. Durée de vie prolongée :Conçu pour durer, surpassant les modèles conventionnelssuscepteurs en graphite revêtus de carbure de siliciumdans des environnements de traitement des semi-conducteurs difficiles.

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Propriétés physiques fondamentales du SiC CVDrevêtement

性质 / Propriété

典型数值 / Valeur typique

晶体结构 / Structure cristalline

Phase β de la structure cubique à faces centrées (CFC)多晶,主要为(111)

密度 / Densité

3,21 g/cm³

硬度 / Dureté

2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)

晶粒大小 / Taille du grain

2~10 μm

纯度 / Pureté chimique

99,99995%

热容 / Capacité thermique

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Température de sublimation

2700℃

抗弯强度 / Résistance à la flexion

415 MPa RT 4 points

杨氏模量 Module de Young

430 Gpa flexion 4 points, 1300℃

导热系数 / ThermielConductivité

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)

4,5×10-6K-1

L'expertise de VET Energy en matière de solutions personnalisées en graphite et en carbure de silicium

Fabricant de confiance, VET Energy se spécialise dans les suscepteurs en graphite sur mesure et les solutions de revêtement en carbure de silicium. Nous proposons une gamme de produits adaptés aux industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque, notamment :Composants en graphite revêtus de SiCcomme des plateaux, des assiettes et des couvercles. Notre gamme de produits comprend également diverses options de revêtement, telles queRevêtement SiC pour MOCVD, revêtement TaC, revêtement de carbone vitreuxet un revêtement en carbone pyrolytique, nous permettant de répondre aux exigences variées des industries de haute technologie.

Notre équipe technique chevronnée, composée d'experts issus des plus grands instituts de recherche nationaux, propose des solutions complètes en matière de matériaux. Nous perfectionnons sans cesse nos procédés de pointe, notamment une technologie brevetée exclusive qui renforce l'adhérence entre le revêtement en carbure de silicium et le substrat en graphite, réduisant ainsi le risque de décollement et prolongeant la durée de vie du produit.

Applications et avantages dans la fabrication de semi-conducteurs

LeRevêtement en carbure de silicium pour MOCVDCes suscepteurs en graphite sont particulièrement efficaces dans les environnements corrosifs à haute température. Utilisés comme supports de plaquettes de graphite ou comme autres composants MOCVD, ces suscepteurs revêtus de carbure de silicium offrent une durabilité et des performances supérieures. Ils constituent une solution fiable pour ceux qui recherchent des solutions performantes dans les environnements à haute température et corrosifs.Suscepteur en graphite revêtu de SiCSur le marché, le plateau, la plaque et le couvercle en graphite revêtu de carbure de silicium de VET Energy offrent une option robuste et polyvalente qui répond aux exigences rigoureuses de l'industrie des semi-conducteurs.

En se concentrant sur les sciences des matériaux avancées, VET Energy s'engage à fournir des solutions de graphite revêtues de SiC hautes performances qui stimulent l'innovation dans le traitement des semi-conducteurs et garantissent des performances fiables dans toutes les applications liées au MOCVD.

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VET Energy est le véritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec différents revêtements comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc., et peut fournir diverses pièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.

Notre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Nous développons en permanence des procédés avancés pour fournir des matériaux plus performants et avons mis au point une technologie brevetée exclusive qui permet de rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.

Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, pourrons en discuter plus en détail !

 

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