Élément chauffant en graphite sur mesure pour plaquettes de silicium semi-conductrices, revêtement SiC

Description courte :

Spécifications techniques

VET-M3

Masse volumique apparente (g/cm3)

≥1,85

Teneur en cendres (PPM)

≤500

Dureté Shore

≥45

Résistance spécifique (μ.Ω.m)

≤12

Résistance à la flexion (MPa)

≥40

Résistance à la compression (MPa)

≥70

Taille maximale des grains (μm)

≤43

Coefficient de dilatation thermique mm/°C

≤ 4,4 × 10⁻⁶


Détails du produit

Étiquettes de produit

Spécifications techniques

VET-M3

Masse volumique apparente (g/cm3)

≥1,85

Teneur en cendres (PPM)

≤500

Dureté Shore

≥45

Résistance spécifique (μ.Ω.m)

≤12

Résistance à la flexion (MPa)

≥40

Résistance à la compression (MPa)

≥70

Taille maximale des grains (μm)

≤43

Coefficient de dilatation thermique mm/°C

≤ 4,4 × 10⁻⁶

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Élément chauffant en graphite sur mesure pour plaquettes de silicium semi-conductrices

Élément chauffant en graphite sur mesure pour plaquettes de silicium semi-conductrices

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Élément chauffant en graphite sur mesure pour plaquettes de silicium semi-conductrices


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