Partie demi-lune en graphite revêtue de SiCCette pièce en demi-lune est un composant essentiel des procédés de fabrication de semi-conducteurs, notamment pour les équipements d'épitaxie SiC. Grâce à notre technologie brevetée, nous produisons cette pièce d'une pureté exceptionnelle, offrant une excellente uniformité de revêtement, une durée de vie optimale, ainsi qu'une résistance chimique et une stabilité thermique élevées.
Matériau de base : graphite de haute pureté
Exigences de pureté :teneur en carbone ≥99,99%, teneur en cendres ≤5ppm, afin de garantir qu'aucune impureté ne précipite et ne contamine la couche épitaxiale à haute température.
Avantages en matière de performance :
Conductivité thermique élevée :La conductivité thermique à température ambiante atteint 150 W/(m・K), ce qui est proche du niveau du cuivre et permet un transfert de chaleur rapide.
Faible coefficient de dilatation :5×10-6/℃ (25-1000℃), correspondant au substrat en carbure de silicium (4,2×10-6/℃), réduisant la fissuration du revêtement causée par les contraintes thermiques.
Précision du traitement :Une tolérance dimensionnelle de ±0,05 mm est obtenue grâce à l'usinage CNC afin de garantir l'étanchéité de la chambre.
Applications différenciées du SiC CVD et du TaC CVD
| Revêtement | Processus | Comparaison | Application typique |
| CVD-SiC | Température : 1000-1200℃ Pression : 10-100 Torr | Dureté HV2500, épaisseur 50-100 µm, excellente résistance à l'oxydation (stable en dessous de 1600 °C) | Fours épitaxiaux universels, adaptés aux atmosphères conventionnelles telles que l'hydrogène et le silane |
| CVD-TaC | Température : 1600-1800℃ Pression : 1-10 Torr | Dureté HV3000, épaisseur 20-50 µm, extrêmement résistant à la corrosion (peut résister aux gaz corrosifs tels que HCl, NH₃, etc.) | Environnements hautement corrosifs (tels que les équipements d'épitaxie et de gravure du GaN), ou procédés spéciaux nécessitant des températures ultra-élevées de 2600 °C |
Inspection de la qualité
Épaisseur du revêtement : jauge d'épaisseur laser (précision ±1 µm) ou analyse de section transversale SEM.
Résistance de l'adhérence : test de rayure (charge critique > 50 N) ou test ultrasonique (vitesse du son > 5000 m/s).
Résistance à la corrosion : taux de perte de masse (<0,1 mg/cm²・h) testé dans une atmosphère HCl (5 % vol., 1600 ℃).
VET Energy est un fabricant professionnel spécialisé dans la R&D et la production de matériaux de pointe tels que le graphite, le carbure de silicium, le quartz, ainsi que dans le traitement des matériaux comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement de carbone vitreux, le revêtement de carbone pyrolytique, etc. Ses produits sont largement utilisés dans les secteurs du photovoltaïque, des semi-conducteurs, des énergies nouvelles, de la métallurgie, etc.
Notre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.
Les avantages de VET Energy comprennent :
• Usine et laboratoire professionnel en propre ;
• Des niveaux de pureté et de qualité inégalés dans l'industrie ;
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