Fabricant de couvercles en graphite enduit de TaC

Brève description:

Semicera est leader de l'industrie des semi-conducteurs avec une gamme de produits en carbure de tantale (TaC) qui répond à des exigences de plus en plus exigeantes.Avec l'avènement des tranches de carbure de silicium (SiC) de 8 pouces, les exigences de température pour divers processus de semi-conducteurs sont devenues plus strictes, en particulier le processus d'épitaxie, qui peut atteindre plus de 2 000 degrés Celsius.Les matériaux de base traditionnels, tels que le graphite recouvert de carbure de silicium, ont tendance à se sublimer à haute température et à détruire le processus d'épitaxie.Le carbure de tantale CvD (TaC) apporte une solution efficace à ce problème, capable de résister à des températures allant jusqu'à 2 300 degrés Celsius et d'offrir une durée de vie plus longue.Bienvenue à contacter Semicera pour en savoir plus sur nos plaques de recouvrement revêtues de carbure de tantale et en savoir plus sur nos solutions avancées.Nos produits offriront une excellente protection à votre processus épitaxial, garantiront une stabilité de température et une longue durée de vie, améliorant ainsi l'efficacité du processus, réduisant les coûts et vous aidant à obtenir un plus grand succès.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Le revêtement TaC est une sorte de revêtement en carbure de tantale (TaC) préparé par la technologie de dépôt physique en phase vapeur. Il présente les caractéristiques suivantes :

1. Dureté élevée : la dureté du revêtement TaC est élevée, peut généralement atteindre 2500-3000HV, c'est un excellent revêtement dur.

2. Résistance à l'usure : le revêtement TaC est très résistant à l'usure, ce qui peut réduire efficacement l'usure et les dommages des pièces mécaniques pendant l'utilisation.

3. Bonne résistance aux hautes températures : le revêtement TaC peut également maintenir ses excellentes performances dans un environnement à haute température.

4. Bonne stabilité chimique : le revêtement TaC a une bonne stabilité chimique et peut résister à de nombreuses réactions chimiques, telles que les acides et les bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriétés physiques de TaC enrobage
密度/ Densité	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Émissivité spécifique	0,3
热膨胀系数 / Coefficient de dilatation thermique	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureté (HK)	2000 Hong Kong
电阻 / Résistance	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilité thermique	<2500℃
石墨尺寸变化 / Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
涂层厚度 / Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie axée sur la production et la vente de matériaux avancés haut de gamme, de matériaux et de technologies couvrant le graphite, le carbure de silicium, la céramique, le traitement de surface, etc.Les produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.

Notre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Bienvenue chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !