Anneau en graphite revêtu de TaC

VET Energy se concentre sur la R&D et la production d'anneaux en graphite revêtus de carbure de tantale (TaC) haute performance par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'entreprise s'engage à fournir des solutions de matériaux consommables essentiels pour les industries des semi-conducteurs, du photovoltaïque et des hautes températures. Notre technologie de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), développée en interne, permet de former un revêtement de carbure de tantale dense et uniforme sur la surface du substrat en graphite grâce à des procédés de précision. Ce revêtement améliore considérablement la résistance aux hautes températures (> 3 000 °C), à la corrosion et aux chocs thermiques, triple la durée de vie du produit et réduit les coûts globaux pour nos clients.

Nos avantages techniques :
1. Résistance à l'oxydation à haute température
Dans une atmosphère d'air à 1200℃, le taux de gain de poids par oxydation est ≤0,05mg/cm²/h, ce qui est plus de 3 fois la durée de vie de résistance à l'oxydation du graphite ordinaire et convient aux conditions de cycle de chauffage-refroidissement à haute fréquence.
2. Résistance à la corrosion par le silicium fondu/métal
Le revêtement TaC est extrêmement inerte aux métaux tels que le silicium liquide (1600℃), l'aluminium/cuivre fondu, etc., évitant ainsi la défaillance structurelle des anneaux de guidage traditionnels due à la pénétration du métal, particulièrement adapté aux semi-conducteurs de puissance et à la fabrication de semi-conducteurs de troisième génération.
3. Contamination particulaire ultra-faible
Le procédé CVD permet d'atteindre une densité de revêtement >99,5% et une rugosité de surface Ra≤0,2μm, réduisant ainsi le risque de détachement de particules de la source et répondant aux exigences strictes de propreté de la fabrication de plaquettes de 12 pouces.
4. Contrôle précis de la taille
Grâce à l'usinage de précision CNC, la tolérance dimensionnelle du substrat en graphite est de ±0,01 mm et la déformation globale après revêtement est <±5 μm, ce qui convient à l'installation dans des chambres d'équipements de haute précision.