Le suscetpor revêtu de SiC est un composant clé utilisé dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs. Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer le suscetpor revêtu de SiC avec une pureté extrêmement élevée, une bonne uniformité de revêtement et une excellente durée de vie, ainsi que des propriétés élevées de résistance chimique et de stabilité thermique.
Caractéristiques de nos produits :
1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700 ℃.
2. Haute pureté et uniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Haute dureté, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable
| MCV SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du CVD SiCrevêtement | |
| 性质 / Propriété | 典型数值 / Valeur typique |
| 晶体结构 / Structure Cristalline | Phase β du FCC多晶，主要为（111) |
| 密度 / Densité | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureté | 2 500 维氏硬度 (charge de 500 g) |
| 晶粒大小 / TAILLE DES GRAINS | 2~10μm |
| 纯度 / Pureté chimique | 99,99995% |
| 热容 / Capacité thermique | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Température de sublimation | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Résistance à la flexion | 415 MPa RT 4 points |
| 杨氏模量 / Module de Young | Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermesjeConductivité | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Expansion thermique (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Bienvenue chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !
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