Plateforme porte-plaquette en carbure de silicium recristallisé avec revêtement CVD

Propriétés du carbure de silicium recristallisé

Le carbure de silicium recristallisé (R-SiC) est un matériau haute performance dont la dureté n'est surpassée que par celle du diamant. Il se forme à une température élevée, supérieure à 2 000 °C. Il conserve de nombreuses propriétés remarquables du SiC, telles qu'une résistance mécanique élevée à haute température, une forte résistance à la corrosion, une excellente résistance à l'oxydation et une bonne résistance aux chocs thermiques.

● Excellentes propriétés mécaniques. Le carbure de silicium recristallisé présente une résistance et une rigidité supérieures à celles de la fibre de carbone, une haute résistance aux chocs, d'excellentes performances dans des environnements à températures extrêmes et un meilleur contrepoids dans diverses situations. De plus, sa grande flexibilité et sa résistance aux déformations (étirement et flexion) améliorent considérablement ses performances.

• Haute résistance à la corrosion. Le carbure de silicium recristallisé présente une haute résistance à la corrosion face à divers milieux, prévient l'érosion par différents agents corrosifs, conserve durablement ses propriétés mécaniques et offre une forte adhérence, ce qui lui confère une durée de vie prolongée. De plus, sa bonne stabilité thermique lui permet de s'adapter à certaines variations de température, améliorant ainsi ses performances.

● Le frittage ne provoque pas de retrait. Grâce à l'absence de retrait lors du frittage, aucune contrainte résiduelle ne risque de déformer ou de fissurer le produit, permettant ainsi la fabrication de pièces aux formes complexes et de haute précision.