Bateau de plaquette de carbure de silicium recristallisé avec revêtement CVD

Brève description :

Le bateau à plaquettes en carbure de silicium recristallisé VET Energy est un produit haute performance conçu pour fournir des performances constantes et fiables sur une période prolongée. Il présente une très bonne résistance à la chaleur et une uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes.


Détail du produit

Mots clés du produit

Propriétés du carbure de silicium recristallisé

Le carbure de silicium recristallisé (R-SiC) est un matériau haute performance dont la dureté est juste derrière le diamant, qui est formé à une température élevée supérieure à 2 000 ℃. Il conserve de nombreuses excellentes propriétés du SiC, telles qu'une résistance à haute température, une forte résistance à la corrosion, une excellente résistance à l'oxydation, une bonne résistance aux chocs thermiques, etc.

● Excellentes propriétés mécaniques. Le carbure de silicium recristallisé a une résistance et une rigidité plus élevées que la fibre de carbone, une résistance élevée aux chocs, peut jouer de bonnes performances dans des environnements à températures extrêmes, peut jouer une meilleure performance de contrepoids dans une variété de situations. De plus, il a également une bonne flexibilité et n'est pas facilement endommagé par l'étirement et la flexion, ce qui améliore considérablement ses performances.

● Haute résistance à la corrosion. Le carbure de silicium recristallisé a une résistance élevée à la corrosion sur une variété de supports, peut empêcher l'érosion d'une variété de supports corrosifs, peut conserver ses propriétés mécaniques pendant une longue période, a une forte adhérence, de sorte qu'il ait une durée de vie plus longue. De plus, il présente également une bonne stabilité thermique, peut s'adapter à une certaine plage de changements de température et améliorer son effet d'application.

● Le frittage ne rétrécit pas. Étant donné que le processus de frittage ne rétrécit pas, aucune contrainte résiduelle ne provoquera de déformation ou de fissuration du produit, et des pièces aux formes complexes et de haute précision peuvent être préparées.

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重结晶碳化硅物理特性

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé

性质 / Propriété

典型数值 / Valeur typique

使用温度/ Température de travail (°C)

1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur)

SiC含量/ Contenu SiC

> 99,96%

自由Si含量/ Contenu Si gratuit

< 0,1%

体积密度/Densité apparente

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Porosité apparente

< 16%

抗压强度/ Résistance à la compression

> 600MPa

常温抗弯强度/Résistance à la flexion à froid

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Résistance à la flexion à chaud

90-100 MPa (1 400 °C)

热膨胀系数/ Expansion thermique à 1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Conductivité thermique à 1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Module élastique

240 GPa

抗热震性/ Résistance aux chocs thermiques

Extrêmement bien

L'énergie de l'EFP est levéritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec revêtement CVD,peut fournirdiverspièces sur mesure pour l'industrie des semi-conducteurs et photovoltaïque. ONotre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.

Nous développons continuellement des processus avancés pour fournir des matériaux plus avancés,etont développé une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus serrée et moins sujette au détachement.

MCV SiC薄膜基本物理性能

Propriétés physiques de base du CVD SiCrevêtement

性质 / Propriété

典型数值 / Valeur typique

晶体结构 / Structure Cristalline

Phase β du FCC多晶,主要为(111)

密度 / Densité

3,21 g/cm³

硬度 / Dureté

2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)

晶粒大小 / TAILLE DES GRAINS

2~10μm

纯度 / Pureté chimique

99,99995%

热容 / Capacité thermique

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Température de sublimation

2700 ℃

抗弯强度 / Résistance à la flexion

415 MPa RT 4 points

杨氏模量 / Module de Young

Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / ThermesjeConductivité

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Expansion thermique (CTE)

4,5×10-6K-1

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