Bateau de plaquette de carbure de silicium recristallisé de grande taille

Brève description :

Le bateau à plaquettes en carbure de silicium recristallisé VET Energy est un produit haute performance conçu pour fournir des performances constantes et fiables sur une période prolongée. Il présente une très bonne résistance à la chaleur et une uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes.


Détail du produit

Mots clés du produit

Le bateau à plaquettes en carbure de silicium est un dispositif porteur pour les plaquettes, principalement utilisé dans les processus de diffusion solaire et semi-conducteur. Il présente des caractéristiques telles que la résistance à l'usure, la résistance à la corrosion, la résistance aux chocs à haute température, la résistance au bombardement de plasma, la capacité portante à haute température, la conductivité thermique élevée, la dissipation thermique élevée et une utilisation à long terme qui n'est pas facile à plier et à déformer. Notre société utilise du carbure de silicium de haute pureté pour garantir la durée de vie et propose des conceptions personnalisées, y compris divers bateaux à plaquettes verticales et horizontales.

Fiche technique du matériau

材料Matériel R-SiC
使用温度Température de travail (°C) 1600°C ( 氧化气氛Environnement oxydant)1700°C ( 还原气氛Environnement réducteur)
Teneur en SiC et SiC (%) > 99
自由Si 含量Contenu Si gratuit (%) < 0,1
体积密度Densité apparente (g/cm3) 2,60-2,70
气孔率Porosité apparente (%) < 16 ans
抗压强度Résistance à l'écrasement (MPa) > 600
常温抗弯强度Résistance à la flexion à froid (MPa) 80-90 (20°C)
高温抗弯强度Résistance à la flexion à chaud (MPa) 90-100 (1400°C)
Coefficient de dilatation thermique à 1 500 °C (10-6/°C) 4,70
导热系数Conductivité thermique à 1 200°C (W/m•K) 23
杨氏模量Module élastique (GPa) 240
抗热震性Résistance aux chocs thermiques 很好Extrêmement bien

 

bateau à plaquettes

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltdest une entreprise de haute technologie axée sur la production et la vente de matériaux avancés haut de gamme, de matériaux et de technologiesy comprisgraphite, carbure de silicium, céramique, traitement de surface, etc. Les produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.

Notre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.

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