Suscepteur recouvert de carbure de tantale pour tranche

Brève description :

Le suscepteur à revêtement en carbure de tantale VET Energy pour tranche est un produit haute performance conçu pour fournir des performances constantes et fiables sur une période prolongée. Il présente une très bonne résistance à la chaleur et une uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes.


Détail du produit

Mots clés du produit

Le revêtement TaC est une sorte de revêtement en carbure de tantale (TaC) préparé par la technologie de dépôt physique en phase vapeur. Il présente les caractéristiques suivantes :

1. Dureté élevée : la dureté du revêtement TaC est élevée, peut généralement atteindre 2500-3000HV, c'est un excellent revêtement dur.

2. Résistance à l'usure : le revêtement TaC est très résistant à l'usure, ce qui peut réduire efficacement l'usure et les dommages des pièces mécaniques pendant l'utilisation.

3. Bonne résistance aux hautes températures : le revêtement TaC peut également maintenir ses excellentes performances dans un environnement à haute température.

4. Bonne stabilité chimique : le revêtement TaC a une bonne stabilité chimique et peut résister à de nombreuses réactions chimiques, telles que les acides et les bases.

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Revêtement CVD en carbure de tantale EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propriétés physiques de TaC revêtement

密度/ Densité

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Émissivité spécifique

0,3

热膨胀系数 / Coefficient de dilatation thermique

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Dureté (HK)

2000 Hong Kong

电阻 / Résistance

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Stabilité thermique

<2500℃

石墨尺寸变化 / Modifications de la taille du graphite

-10~-20um

涂层厚度 / Épaisseur du revêtement

Valeur typique ≥20um (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie axée sur la production et la vente de matériaux avancés haut de gamme, de matériaux et de technologies couvrant le graphite, le carbure de silicium, la céramique, le traitement de surface, etc. Les produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.

Notre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Bienvenue chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !

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