Nacelle en cristal de carbure de silicium recristallisé pour l'industrie des semi-conducteurs

Description courte :

Le creuset à cristaux en carbure de silicium recristallisé de VET Energy est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue durée. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une uniformité thermique optimale, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.


Détails du produit

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Propriétés du carbure de silicium recristallisé

Le carbure de silicium recristallisé (R-SiC) est un matériau haute performance dont la dureté n'est surpassée que par celle du diamant. Il se forme à une température élevée, supérieure à 2 000 °C. Il conserve de nombreuses propriétés remarquables du SiC, telles qu'une résistance mécanique élevée à haute température, une forte résistance à la corrosion, une excellente résistance à l'oxydation et une bonne résistance aux chocs thermiques.

● Excellentes propriétés mécaniques. Le carbure de silicium recristallisé présente une résistance et une rigidité supérieures à celles de la fibre de carbone, une haute résistance aux chocs, d'excellentes performances dans des environnements à températures extrêmes et un meilleur contrepoids dans diverses situations. De plus, sa grande flexibilité et sa résistance aux déformations (étirement et flexion) améliorent considérablement ses performances.

• Haute résistance à la corrosion. Le carbure de silicium recristallisé présente une haute résistance à la corrosion face à divers milieux, prévient l'érosion par différents agents corrosifs, conserve durablement ses propriétés mécaniques et offre une forte adhérence, ce qui lui confère une durée de vie prolongée. De plus, sa bonne stabilité thermique lui permet de s'adapter à certaines variations de température, améliorant ainsi ses performances.

● Le frittage ne provoque pas de retrait. Grâce à l'absence de retrait lors du frittage, aucune contrainte résiduelle ne risque de déformer ou de fissurer le produit, permettant ainsi la fabrication de pièces aux formes complexes et de haute précision.

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重结晶碳化硅物理特性

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé

性质 / Propriété

典型数值 / Valeur typique

使用温度/ Température de fonctionnement (°C)

1600°C (avec oxygène), 1700°C (milieu réducteur)

SiC含量/ Teneur en SiC

> 99,96%

自由Si含量/ Contenu Si gratuit

< 0,1%

体积密度/densité apparente

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Porosité apparente

< 16%

抗压强度/ Résistance à la compression

> 600MPa

常温抗弯强度/résistance à la flexion à froid

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度résistance à la flexion à chaud

90-100 MPa (1400 °C)

热膨胀系数Dilatation thermique à 1500 °C

4,70 10-6/°C

导热系数/Conductivité thermique à 1200 °C

23W/m•K

杨氏模量Module d'élasticité

240 GPa

抗热震性/ résistance aux chocs thermiques

Extrêmement bon

VET Energy est un véritable fabricant de produits sur mesure en graphite et en carbure de silicium avec revêtement CVD, capable de fournir diverses pièces personnalisées pour les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque. Notre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, vous propose des solutions de matériaux hautement spécialisées.

Nous développons en permanence des procédés avancés pour fournir des matériaux plus performants et avons mis au point une technologie brevetée exclusive qui permet de rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.

Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, pourrons en discuter plus en détail !

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