La plaquette de silicium de type P de 8 pouces de VET Energy est une plaquette de silicium haute performance conçue pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs, notamment les cellules solaires, les dispositifs MEMS et les circuits intégrés. Connue pour son excellente conductivité électrique et ses performances constantes, cette plaquette est le choix préféré des fabricants cherchant à produire des composants électroniques fiables et efficaces. VET Energy garantit des niveaux de dopage précis et une finition de surface de haute qualité pour une fabrication optimale des dispositifs.
Ces plaquettes de silicium de type P de 8 pouces sont entièrement compatibles avec divers matériaux tels que le substrat SiC, la plaquette SOI, le substrat SiN et conviennent à la croissance des plaquettes Epi, garantissant la polyvalence des processus avancés de fabrication de semi-conducteurs. Les plaquettes peuvent également être utilisées avec d'autres matériaux de haute technologie tels que l'oxyde de gallium Ga2O3 et la plaquette AlN, ce qui les rend idéales pour les applications électroniques de nouvelle génération. Leur conception robuste s'intègre également parfaitement aux systèmes basés sur des cassettes, garantissant une gestion efficace de la production en grand volume.
VET Energy fournit à ses clients des solutions de plaquettes personnalisées. Nous pouvons personnaliser des plaquettes avec différentes résistivités, teneurs en oxygène, épaisseurs, etc. en fonction des besoins spécifiques des clients. De plus, nous fournissons également une assistance technique professionnelle et un service après-vente pour aider les clients à résoudre divers problèmes rencontrés au cours du processus de production.
SPÉCIFICATIONS DES PLAQUETTES
*n-Pm = type N Pm-Grade, n-Ps = type N Ps-Grade, Sl = semi-isolant
Article | 8 pouces | 6 pouces | 4 pouces | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Arc (GF3YFCD)-Valeur absolue | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Chaîne (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Bord de la plaquette | Biseautage |
FINITION DE SURFACE
*n-Pm = type N Pm-Grade, n-Ps = type N Ps-Grade, Sl = semi-isolant
Article | 8 pouces | 6 pouces | 4 pouces | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Finition de surface | Polissage optique double face, Si- Face CMP | ||||
Rugosité de surface | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Puces de bord | Aucun autorisé (longueur et largeur≥0,5 mm) | ||||
Retraits | Aucun permis | ||||
Rayures (Si-Face) | Quantité ≤5, cumulatif | Quantité ≤5, cumulatif | Quantité ≤5, cumulatif | ||
Fissures | Aucun permis | ||||
Exclusion de bord | 3mm |