SiC-beschichtetes Graphit-Halbmondteilist eine Schlüsselkomponente in Halbleiterfertigungsprozessen, insbesondere für SiC-Epitaxieanlagen. Mit unserer patentierten Technologie fertigen wir das Halbmondteil mit extrem hoher Reinheit, guter Beschichtungsgleichmäßigkeit und ausgezeichneter Lebensdauer sowie hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Stabilität.
Basismaterial: hochreiner Graphit
Reinheitsanforderungen:Kohlenstoffgehalt ≥99,99 %, Aschegehalt ≤5 ppm, um sicherzustellen, dass bei hohen Temperaturen keine Verunreinigungen ausgefällt werden, die die Epitaxieschicht verunreinigen.
Leistungsvorteile:
Hohe Wärmeleitfähigkeit:Die Wärmeleitfähigkeit bei Raumtemperatur erreicht 150 W/(m·K), was in etwa dem Niveau von Kupfer entspricht und eine schnelle Wärmeübertragung ermöglicht.
Niedriger Ausdehnungskoeffizient:5×10-6/℃ (25-1000℃), passend zum Siliziumkarbidsubstrat (4,2×10-6/℃), wodurch die durch thermische Spannungen verursachte Rissbildung in der Beschichtung verringert wird.
Verarbeitungsgenauigkeit:Durch CNC-Bearbeitung wird eine Maßtoleranz von ±0,05 mm erreicht, um die Abdichtung der Kammer zu gewährleisten.
Differenzierte Anwendungen von CVD-SiC und CVD-TaC
| Beschichtung | Verfahren | Vergleich | Typische Anwendung |
| CVD-SiC | Temperatur: 1000–1200 °C, Druck: 10–100 Torr | Härte HV2500, Dicke 50-100µm, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit (stabil unter 1600℃) | Universelle Epitaxieöfen, geeignet für herkömmliche Atmosphären wie Wasserstoff und Silan |
| CVD-TaC | Temperatur: 1600–1800 °C, Druck: 1–10 Torr | Härte HV3000, Dicke 20-50µm, extrem korrosionsbeständig (hält korrosiven Gasen wie HCl, NH₃ usw. stand). | Stark korrosive Umgebungen (wie z. B. GaN-Epitaxie- und Ätzanlagen) oder spezielle Prozesse, die extrem hohe Temperaturen von 2600 °C erfordern |
Qualitätsprüfung
Schichtdicke: Laserdickenmessung (Genauigkeit ±1µm) oder REM-Querschnittsanalyse.
Haftfestigkeit: Ritztest (kritische Last > 50 N) oder Ultraschallprüfung (Schallgeschwindigkeit > 5000 m/s).
Korrosionsbeständigkeit: Massenverlustrate (<0,1 mg/cm²・h), getestet in HCl-Atmosphäre (5 Vol.-%, 1600℃).
VET Energy ist ein professioneller Hersteller, der sich auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von hochwertigen, fortschrittlichen Materialien wie Graphit, Siliciumcarbid und Quarz sowie auf Materialbehandlungen wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. spezialisiert hat. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, der Halbleiterindustrie, der neuen Energiewirtschaft, der Metallurgie usw.
Unser technisches Team stammt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen daher professionellere Materiallösungen anbieten.
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