MOCVD-Substratheizung, Heizelemente für MOCVD

Kurzbeschreibung:

Chemisches Graphit

Vorteil: Hohe Temperaturbeständigkeit

Anwendung: MOCVD/Vakuumofen/Heißzone

Schüttdichte: 1,68–1,91 g/cm³

Biegefestigkeit: 30-46 MPa

Spezifischer Widerstand: 7-12 μΩm

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Produktdetails

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MOCVD-Substratheizung, Heizelemente für MOCVD

Graphitheizung:
Die Graphitheizkomponenten werden in dem Hochtemperaturofen verwendet, wobei die Temperatur im Vakuum 2200 Grad und in der desoxidierten und mit Gas angereicherten Atmosphäre 3000 Grad erreicht.
Hauptmerkmale des Graphitheizgeräts:
1. Gleichmäßigkeit der Heizstruktur.
2. gute elektrische Leitfähigkeit und hohe elektrische Belastbarkeit.
3. Korrosionsbeständigkeit.
4. Nichtoxidierbarkeit.
5. hohe chemische Reinheit.
6. hohe mechanische Festigkeit.
Der Vorteil liegt in der Energieeffizienz, dem hohen Wert und dem geringen Wartungsaufwand.
Wir können Graphittiegel, Graphitformen und alle Teile von Graphitheizgeräten mit hoher Oxidationsbeständigkeit und langer Lebensdauer herstellen.
Hauptparameter des Graphitheizers:

Technische Spezifikation	VET-M3
Schüttdichte (g/cm3)	≥1,85
Aschegehalt (ppm)	≤500
Shore-Härte	≥45
Spezifischer Widerstand (μΩ·m)	≤12
Biegefestigkeit (MPa)	≥40
Druckfestigkeit (MPa)	≥70
Maximale Korngröße (μm)	≤43
Wärmeausdehnungskoeffizient Mm/°C	≤4,4*10-6

Graphitheizkörper für Elektroöfen zeichnen sich durch Hitzebeständigkeit, Oxidationsbeständigkeit, gute elektrische Leitfähigkeit und hohe mechanische Festigkeit aus. Wir fertigen Graphitheizkörper in verschiedenen Ausführungen nach Kundenspezifikation.