VET Energy konzentriert sich auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Hochleistungs-CVD-beschichteten Graphitringen mit Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung und bietet Kernmaterialien für die Halbleiter-, Photovoltaik- und Hochtemperaturindustrie. Unsere eigens entwickelte CVD-Technologie (Chemical Vapor Deposition) erzeugt durch präzise Prozesse eine dichte und gleichmäßige Tantalcarbid-Beschichtung auf der Oberfläche des Graphitsubstrats. Dadurch werden die Hochtemperaturbeständigkeit (>3000 °C), die Korrosionsbeständigkeit und die Temperaturwechselbeständigkeit des Produkts signifikant verbessert, die Lebensdauer um mehr als das Dreifache verlängert und die Gesamtkosten für unsere Kunden gesenkt.
Unsere technischen Vorteile:
1. Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen
In einer Luftatmosphäre von 1200℃ beträgt die Oxidationsgewichtszunahme ≤0,05 mg/cm²/h, was mehr als dem Dreifachen der Oxidationsbeständigkeit von gewöhnlichem Graphit entspricht und für Bedingungen mit häufigen Heiz-Kühl-Zyklen geeignet ist.
2. Beständigkeit gegen Korrosion durch geschmolzenes Silizium/Metall
Die TaC-Beschichtung ist gegenüber Metallen wie flüssigem Silizium (1600℃), geschmolzenem Aluminium/Kupfer usw. äußerst inert und vermeidet so ein strukturelles Versagen herkömmlicher Führungsringe aufgrund von Metalldurchdringung. Sie eignet sich besonders für Leistungshalbleiter und die Halbleiterfertigung der dritten Generation.
3. Extrem geringe Partikelbelastung
Das CVD-Verfahren erzielt eine Beschichtungsdichte von >99,5 % und eine Oberflächenrauheit von Ra≤0,2μm, wodurch das Risiko des Ablösens von Partikeln von der Quelle verringert und die strengen Reinheitsanforderungen der 12-Zoll-Waferherstellung erfüllt werden.
4. Präzise Größenkontrolle
Durch die Anwendung von CNC-Präzisionsbearbeitung beträgt die Größentoleranz des Graphitsubstrats ±0,01 mm und die Gesamtverformung nach der Beschichtung <±5 μm, wodurch es sich für den Einbau in hochpräzise Gerätekammern eignet.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung | |
| 密度/ Dichte | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Spezifische Emissionsfähigkeit | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Härte (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Widerstand | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Thermische Stabilität | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen | -10 bis -20 µm |
| 涂层厚度 / Beschichtungsdicke | ≥30µm typischer Wert (35µm±10µm) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ist ein Hightech-Unternehmen, das sich auf die Entwicklung und Produktion von hochentwickelten Materialien konzentriert. Zu den Materialien und Technologien gehören Graphit, Siliciumcarbid, Keramik, Oberflächenbehandlungen wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. Diese Produkte werden in großem Umfang in den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter, neue Energien, Metallurgie usw. eingesetzt.
Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und hat zahlreiche patentierte Technologien entwickelt, um die Leistungsfähigkeit und Qualität der Produkte zu gewährleisten. Darüber hinaus können wir unseren Kunden professionelle Materiallösungen anbieten.
