SiC-beschichtetes Graphit-Halbmondteil und Baugruppe für SiC-Epitaxie

Kurzbeschreibung:

VET Energy ist ein professioneller Hersteller und Lieferant von Kernkomponenten für Siliziumkarbid-Epitaxieöfen. Unsere Halbmondbaugruppe verwendet hochreines Graphit in Kombination mit fortschrittlicher CVD-Beschichtungstechnologie. Sie ist für Hochtemperatur- und stark korrosive Epitaxieumgebungen konzipiert. Das hochreine Graphit verleiht der Komponente eine ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit (>1600 °C) und thermische Stabilität und gewährleistet eine gleichmäßige Temperaturverteilung. Die CVD-Beschichtung bildet mittels CVD-Technologie eine dichte Schutzschicht auf der Oberfläche, wodurch die Oxidations- und Ätzbeständigkeit deutlich verbessert und die Lebensdauer um mehr als das Dreifache verlängert wird.

Material:Hochreiner Graphit

Behandlung:CVD-SiC- oder CVD-TaC-Beschichtung

Anpassung:Verfügbar

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Produktdetails

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SiC-beschichtetes Graphit-Halbmondteilist eine Schlüsselkomponente in Halbleiterfertigungsprozessen, insbesondere in SiC-Epitaxieanlagen. Ihre Struktur und Materialeigenschaften bestimmen direkt die Qualität und Produktionseffizienz von Epitaxiewafern.

Aufbau der Reaktionskammer:
Der halbmondförmige Teil besteht aus zwei Teilen, dem oberen und dem unteren Teil, die zusammengefaltet werden, um eine geschlossene Wachstumskammer zu bilden, in der sich das Siliziumkarbidsubstrat (üblicherweise 4H-SiC oder 6H-SiC) befindet und durch die präzise Steuerung des Gasströmungsfeldes (z. B. einer Mischung aus SiH₄, C₃H₈ und H₂) ein epitaktisches Schichtwachstum erreicht wird.
Temperaturfeldregelung:
Die hochreine Graphitbasis in Kombination mit der Induktionsheizspule ermöglicht die Aufrechterhaltung der Kammertemperaturhomogenität (innerhalb von ±5°C) bei einer hohen Temperatur von 1500-1700°C, um die Konsistenz der Epitaxieschichtdicke zu gewährleisten.
Luftstromführung:
Durch die Gestaltung der Position des Lufteinlasses und -auslasses (z. B. des seitlichen Lufteinlasses und des oberen Luftauslasses des horizontalen Ofenkörpers) wird die laminare Strömung des Reaktionsgases über die Substratoberfläche geleitet, um durch Turbulenzen verursachte Wachstumsdefekte zu reduzieren.

Basismaterial: hochreiner Graphit
Reinheitsanforderungen:Kohlenstoffgehalt ≥99,99 %, Aschegehalt ≤5 ppm, um sicherzustellen, dass bei hohen Temperaturen keine Verunreinigungen ausgefällt werden, die die Epitaxieschicht verunreinigen.
Leistungsvorteile:
Hohe Wärmeleitfähigkeit:Die Wärmeleitfähigkeit bei Raumtemperatur erreicht 150 W/(m·K), was in etwa dem Niveau von Kupfer entspricht und eine schnelle Wärmeübertragung ermöglicht.
Niedriger Ausdehnungskoeffizient:5×10^-6/℃ (25-1000℃), passend zum Siliziumkarbidsubstrat (4,2×10^-6/℃), wodurch die durch thermische Spannungen verursachte Rissbildung in der Beschichtung verringert wird.
Verarbeitungsgenauigkeit:Durch CNC-Bearbeitung wird eine Maßtoleranz von ±0,05 mm erreicht, um die Abdichtung der Kammer zu gewährleisten.

Differenzierte Anwendungen von CVD-SiC und CVD-TaC

Beschichtung	Verfahren	Vergleich	Typische Anwendung
CVD-SiC	Temperatur: 1000–1200 °C, Druck: 10–100 Torr	Härte HV2500, Dicke 50-100µm, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit (stabil unter 1600℃)	Universelle Epitaxieöfen, geeignet für herkömmliche Atmosphären wie Wasserstoff und Silan
CVD-TaC	Temperatur: 1600–1800 °C, Druck: 1–10 Torr	Härte HV3000, Dicke 20-50µm, extrem korrosionsbeständig (hält korrosiven Gasen wie HCl, NH₃ usw. stand).	Stark korrosive Umgebungen (wie z. B. GaN-Epitaxie- und Ätzanlagen) oder spezielle Prozesse, die extrem hohe Temperaturen von 2600 °C erfordern

VET Energy ist ein professioneller Hersteller, der sich auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von hochwertigen, fortschrittlichen Materialien wie Graphit, Siliciumcarbid und Quarz sowie auf Materialbehandlungen wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. spezialisiert hat. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, der Halbleiterindustrie, der neuen Energiewirtschaft, der Metallurgie usw.

Unser technisches Team stammt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen daher professionellere Materiallösungen anbieten.

Zu den Vorteilen von VET Energy gehören:
• Eigene Fabrik und professionelles Labor;
• Branchenführende Reinheit und Qualität;
• Wettbewerbsfähiger Preis & Schnelle Lieferzeit;
• Zahlreiche Branchenpartnerschaften weltweit;

Wir freuen uns, Sie jederzeit in unserer Fabrik und unserem Labor begrüßen zu dürfen!