SiC-beschichtet

VET ENERGY, führender Hersteller von CVD-SiC-Beschichtungen in China

Materialien verändern die Zukunft

Siliziumkarbid (SiC) ist ein neuartiges Verbindungshalbleitermaterial. Es zeichnet sich durch eine große Bandlücke (etwa dreimal so groß wie die von Silizium), eine hohe kritische Feldstärke (etwa zehnmal so hoch wie die von Silizium) und eine hohe Wärmeleitfähigkeit (etwa dreimal so hoch wie die von Silizium) aus. SiC ist ein wichtiges Halbleitermaterial der nächsten Generation. Beschichtungen aus SiC finden breite Anwendung in der Halbleiterindustrie und der Solartechnik. Insbesondere die Suszeptoren, die beim epitaxialen Wachstum von LEDs und der Silizium-Einkristall-Epitaxie eingesetzt werden, erfordern eine SiC-Beschichtung. Aufgrund des starken Aufwärtstrends von LEDs in der Beleuchtungs- und Displayindustrie sowie der dynamischen Entwicklung der Halbleiterindustrie …SiC-BeschichtungsproduktDie Aussichten sind sehr gut.

ANWENDUNGSGEBIET

Produktanwendung und Leistung Produktanwendungen und Verwendungszwecke

Silizium-Einkristallindustrie, GaN-, AlN-, Saphir- und andere MOCVD-Sockel. – Graphit-Basisbeschichtung für das epitaktische Wachstum von Silizium-Einkristallen.

Hauptmerkmale: hohe Reinheit, Erosionsbeständigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit, - MOCVD-Verfahren, Graphit-Basisbeschichtung für das epitaktische Wachstum von GaN

hohe Temperaturbeständigkeit, niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient.

MOCVD-Suszeptoren

Epitaktische Suszeptoren aus monokristallinem Silizium

Plasma-Ätzscheibe

Solare Photovoltaikprodukte

Halbleiterindustrie

Solare Photovoltaik

Wärmeleitfähigkeit	250 W/m °K	Laserblitzmethode, RT
Wärmeausdehnung (CTE)	4,5 x 10^-6°K	Raumtemperatur bis 950 °C, Quarz-Dilatometer
Eigentum	Wert	Verfahren
Dichte	3,21 g/cm³	Sinken-Schwimmen und Dimension
Spezifische Wärmekapazität	0,66 J/g °K	gepulster Laserblitz
Biegefestigkeit	450 MPa 560 MPa	4-Punkt-Biegung, RT4-Punkt-Biegung, 1300°
Bruchzähigkeit	2,94 MPa m1/2	Mikroindentation
Härte	2800	Vickers, 500 g Ladung
Elastizitätsmodul Young-Modul	450 GPa 430 GPa	4-Punkt-Biegung, RT4-Punkt-Biegung, 1300 °C
Körnung	2 - 10 µm	SEM

Bild 13

Reinheit, SEM-Struktur, Dickenanalyse vonSiC-Beschichtung

Die Reinheit der mittels CVD auf Graphit aufgebrachten SiC-Beschichtungen beträgt bis zu 99,9995 %. Ihre Struktur ist kubisch-flächenzentriert (fcc). Die auf Graphit abgeschiedenen SiC-Filme sind, wie die XRD-Daten (Abb. 1) zeigen, (111)-orientiert, was auf ihre hohe Kristallinität hinweist. Die Dicke des SiC-Films ist, wie in Abb. 2 dargestellt, sehr gleichmäßig.

SEM-Aufnahmen von CVD-SiC-Dünnschichten zeigen eine Kristallgröße von 2–1 µm.

Abb. 2: Gleichmäßige Dicke der SiC-Filme

Die Kristallstruktur des CVD-SiC-Films ist eine flächenzentrierte kubische Struktur, und die Wachstumsrichtung des Films liegt nahe bei 100 %.

SEM- und XRD-Analysen von Beta-SiC-Filmen auf Graphit

Einkristall-Silizium-Epitaxialbasis

Produktleistung und Anwendungsmöglichkeiten.

Siliziumkarbid (SiC)-beschichtetDie Basis ist die optimale Grundlage für die Epitaxie von einkristallinem Silizium und GaN und bildet das Kernstück des Epitaxieofens. Sie ist ein wichtiges Produktionszubehör für monokristallines Silizium in großen integrierten Schaltungen. Sie zeichnet sich durch hohe Reinheit, hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, gute Luftdichtheit und weitere hervorragende Materialeigenschaften aus.

Produktanwendung und -nutzung

Graphitbasierte Beschichtung für das epitaktische Wachstum von einkristallinem Silizium. Geeignet für Aixtron-Maschinen usw. Beschichtungsdicke: 90–150 µm. Der Durchmesser des Waferkraters beträgt 55 mm.

Solare Photovoltaik

GAupidpelitcubaetiaonnd

Graphittiegelbeschichtungfür einkristallines Silizium mittels gerader Zugmethode

Industrielle Herstellung von einkristallinem Silizium im Straight-Pull-Verfahrendreiblättriger Tiegelals hochtemperaturbeständige und gleichmäßig wärmeleitende Teile, Strömungsrohr als Abgaszirkulationskanal

HEIZUNG, Graphitplatte, Graphitzylinder, Graphitfolie undANDERE GEFORMTE TEILE

Produktmerkmale

Hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und lange Lebensdauer verbessern die Qualität und den Ertrag der Wafer. Mit sehr niedrigem Wärmeausdehnungskoeffizienten, hoher Temperaturbeständigkeit, hoher Verschleißfestigkeit, guter Isolation, guter chemischer Stabilität und einer Farbe nahe Violett (Rot) außerhalb des sichtbaren Lichts.

Warum Sie sich für uns entscheiden sollten

Professionelle Ausrüstung und Team

Reinraumwerkstatt der Klasse 1000

*mehr als 3000 Quadratmeter staubfreie Werkstatt der Klasse 1000

*Kooperatives Forschungs- und Entwicklungsteam der Chinesischen Akademie der Wissenschaften

*Spezialisierte Produktions- und Präzisionsprüfgeräte

*Ausreichende und qualitativ hochwertige Produktionskapazität

Schnellservice

Vor Ihrer Bestellung beantwortet Ihnen unser professionelles Vertriebsteam Ihre Anfrage innerhalb von 50–100 Minuten während der Geschäftszeiten und innerhalb von 12 Stunden außerhalb der Geschäftszeiten. Eine schnelle und kompetente Antwort hilft Ihnen, Ihren Kunden mit der optimalen Lösung und höchster Effizienz zu überzeugen.

Während der Auftragsabwicklung erstellt unser professionelles Serviceteam alle 3 bis 5 Tage Fotos, um Sie stets über den Produktionsfortschritt zu informieren. Innerhalb von 36 Stunden erhalten Sie außerdem Dokumente zum Versandstatus. Wir legen großen Wert auf einen exzellenten Kundenservice.

Auch nach dem Kauf steht Ihnen unser Serviceteam jederzeit zur Verfügung und ist stets für Sie da. Unser professioneller Kundendienst umfasst sogar die Entsendung unserer Techniker vor Ort, um Probleme zu lösen. Wir gewähren eine Garantie von 12 Monaten ab Lieferdatum.

Verpackungsdetails

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. ist ein professioneller Hersteller von Graphitbauteilen, insbesondere in der Entwicklung neuer Halbleitermaterialien mit Schwerpunkt auf der Forschung und Entwicklung von SiC-Beschichtungen. Das Hauptprodukt des Unternehmens sind SiC-beschichtete Suszeptoren für die LED- und monokristalline Siliziumindustrie. Die in diesen Industrien eingesetzten SiC-Filme liegen in der kubischen Phase vor und besitzen die gleiche Gitterstruktur wie Diamant. Ihre Härte ist vergleichbar mit der von Diamant. Siliziumkarbid ist das ausgereifteste Halbleitermaterial mit großer Bandlücke und bietet vielversprechende Anwendungsmöglichkeiten in der Halbleiterindustrie. Darüber hinaus zeichnet sich Siliziumkarbid durch eine hohe Wärmeleitfähigkeit, einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten, hohe Temperaturbeständigkeit (bis ca. 2700 °C) und ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit aus. Die Siliziumkarbid-Beschichtungen des Unternehmens finden breite Anwendung in der Luft- und Raumfahrt, der Photovoltaik, der Kernenergie, im Hochgeschwindigkeitsverkehr, der Automobilindustrie und weiteren Branchen.

Häufig gestellte Fragen

Gibt es bei Ihnen eine Mindestbestellmenge?

Ja, wir verlangen für alle internationalen Bestellungen eine fortlaufende Mindestbestellmenge.

Können Sie die entsprechenden Unterlagen zur Verfügung stellen?

Ja, wir können die meisten Dokumente bereitstellen, einschließlich Analyse-/Konformitätszertifikate, Versicherungsnachweise, Ursprungszeugnisse und gegebenenfalls weitere Exportdokumente.

Wie lange ist die durchschnittliche Lieferzeit?

Für Muster beträgt die Lieferzeit ca. 7 Tage. Bei der Serienproduktion beträgt die Lieferzeit 15–25 Tage nach Eingang der Anzahlung. Die Lieferzeiten beginnen, sobald Ihre Anzahlung bei uns eingegangen ist und Sie die Produkte endgültig freigegeben haben. Wir sind stets bemüht, Ihre Wünsche zu berücksichtigen und können dies in den meisten Fällen auch realisieren.

Welche Zahlungsmethoden akzeptieren Sie?

Sie können die Zahlung auf unser Bankkonto, per Western Union oder PayPal vornehmen:
30 % Anzahlung im Voraus, 70 % Restzahlung vor Versand oder gegen Vorlage der Kopie des Konnossements.

Welche Produktgarantie gibt es?

Wir garantieren für unsere Materialien und Verarbeitung. Ihre Zufriedenheit mit unseren Produkten ist unser oberstes Ziel. Unabhängig davon, ob Garantieansprüche bestehen oder nicht, gehört es zu unserer Unternehmenskultur, alle Kundenanliegen zur vollsten Zufriedenheit zu bearbeiten und zu lösen.

Garantieren Sie eine sichere Lieferung der Produkte?

Ja, wir verwenden stets hochwertige Exportverpackungen. Für Gefahrgut nutzen wir spezielle Gefahrenverpackungen und für temperaturempfindliche Artikel zugelassene Kühltransportbehälter. Sonderverpackungen und nicht standardmäßige Verpackungsanforderungen können zusätzliche Kosten verursachen.

Wie sieht es mit den Versandkosten aus?

Die Versandkosten hängen von der gewählten Versandart ab. Expressversand ist in der Regel am schnellsten, aber auch am teuersten. Für größere Mengen empfiehlt sich der Seeweg. Genaue Frachtkosten können wir Ihnen erst nennen, wenn wir die Angaben zu Menge, Gewicht und Versandart kennen. Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.