Vet-China produziertMit Tantalkarbid beschichteter Wafer-Suszeptor, das modernste CVD-Beschichtungstechnologie nutzt und unter extremen Arbeitsbedingungen eine gute Leistung erbringen kann. Es istTantalkarbidDas Material kombiniert Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit und ist somit eine ideale Wahl für die Halbleiterfertigungsindustrie.
In Umgebungen mit hohen Temperaturen und KorrosionTantalkarbidbeschichtet Wafer-Suszeptorweist eine ausgezeichnete chemische Inertheit und thermische Stabilität auf und kann der Erosion verschiedener chemischer Medien wirksam widerstehen, wodurch ein langfristiger Einsatz unter rauen Bedingungen gewährleistet wird. Aufgrund dieser Eigenschaft verfügen unsere Führungsringe über ein großes Anwendungspotenzial in der Halbleiterverarbeitung, chemischen Anwendungen und anderen Bereichen.
Wählen Sie Vet-ChinaTantalkarbidbeschichtet Wafer-Suszeptorkann nicht nur Ihre Produktionseffizienz verbessern, sondern auch die Lebensdauer der Ausrüstung verlängern. Unsere Produkte unterliegen einer strengen Qualitätskontrolle, um sicherzustellen, dass jedes einzelne den höchsten Industriestandards entspricht, um den unterschiedlichen Bedürfnissen der Kunden gerecht zu werden.
Durch kontinuierliche technologische Innovation ist Vet-China bestrebt, seinen Kunden zuverlässige Lösungen zu bieten und den Branchenfortschritt zu fördern. Unsere Tantalcarbid-BeschichtungWaferSusceptor ist Ihre zuverlässige Wahl für Umgebungen mit hohen Temperaturen und Korrosion und hilft Ihren Anwendungen, neue Höhen zu erreichen.
Die TaC-Beschichtung ist eine Art Tantalkarbid (TaC)-Beschichtung, die durch physikalische Gasphasenabscheidungstechnologie hergestellt wird und die folgenden Eigenschaften aufweist:
1. Hohe Härte: Die Härte der TaC-Beschichtung ist hoch, kann normalerweise 2500–3000 HV erreichen und ist eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.
2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.
3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung kann ihre hervorragende Leistung auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen beibehalten.
4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und kann vielen chemischen Reaktionen wie Säuren und Basen widerstehen.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung | |
| 密度 / Dichte | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Spezifischer Emissionsgrad | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient | 6,3 10-6/K |
| 努氏硬度 / Härte (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Widerstand | 1×10-5Ohm*cm |
| 热稳定性 / Thermische Stabilität | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Schichtdicke | ≥20um typischer Wert (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ist ein High-Tech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb hochwertiger fortschrittlicher Materialien konzentriert. Die Materialien und Technologien umfassen Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung usw. Die Produkte werden häufig in den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter, neue Energie, Metallurgie usw. eingesetzt.
Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen für Sie bereitstellen.
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