Hochreines Quarzschiffchen für die Waferbearbeitung

Quarz-Wafer-BootDieses Trägermaterial ist ein wichtiges Werkzeug in der Halbleiterfertigung, der Photovoltaikzellenproduktion und der Forschung und Entwicklung fortschrittlicher Materialien. Es wurde für den stabilen Wafertransfer und die Positionierung in Hochtemperaturprozessen entwickelt. Hergestellt aus hochreinem Quarzglas (SiO₂), zeichnet es sich durch hervorragende Temperaturbeständigkeit, chemische Stabilität und extrem geringe Metallverunreinigungen aus. Es eignet sich für Diffusionsöfen, Oxidationsöfen, PECVD/LPCVD-Anlagen und andere Anlagen und findet breite Anwendung bei der Waferbeschichtung, Ionenimplantation, Hochtemperaturglühung und weiteren Kernprozessen.

Die wichtigsten Vorteile des Quarzschiffs von VET Energy:

• Material von ultrahoher Reinheit
  Reinheit ≥99,99 %: Verunreinigungsgehalt (Na, K, Fe usw.) <5 ppm, wodurch eine Waferkontamination vermieden und eine hohe Chip-Ausbeute gewährleistet wird.
  Geringe Ausfällung und Adsorption: Die Oberfläche ist superpoliert (Ra≤0,4μm), um die Partikelanhaftung und Gasrückstände zu reduzieren.
• Hohe Temperaturstabilität
  Temperaturgrenze: Dauerbetriebstemperatur von 1100℃, kurzzeitige Spitzentemperatur von 1300℃, keine Verformung, keine Kristallausfällung.
  Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient (5,5x10-7/℃), ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit, geeignet für schnelle Temperaturanstiegs- und -abfallprozesse (z. B. RTP-Schnellglühen).
• Präzise Konstruktionsplanung
  Nutgenauigkeit ±0,1 mm: Anpassung an 2"- bis 12"-Wafer, Abstandsgleichmäßigkeitsfehler <0,05 mm, um sicherzustellen, dass die Wafer keinen Versatz aufweisen.
  Hohe Belastbarkeit: Maximale Beladung von 50 Wafern (entsprechend 12-Zoll-Wafern) in einem einzigen Behälter, was einen stabilen Transfer dünner Wafer (≥100µm) ermöglicht.
• Chemische Inertheit
  Korrosionsbeständigkeit: Beständig gegen Säuren (außer HF), Laugen und organische Lösungsmittel, kompatibel mit dem CMP-Reinigungsprozess.
  Ausgezeichnete Gasdichtheit: Leckrate <5x10-10 Pa.m3/s, geeignet für Vakuum- und Schutzgasumgebungen.
• Lange Lebensdauer und Wartungsfreundlichkeit
  Bei einer Lebensdauer von ≥ 5000 Zyklen (unter normalen Arbeitsbedingungen) kann die Oberfläche wiederholt gereinigt und verwendet werden, wodurch die Gesamtkosten reduziert werden.
  Modulares Design: Unterstützt den teilweisen Austausch (z. B. einzelner Bootszahn), wodurch Ausfallzeiten reduziert werden.

Wir bieten je nach Kundenwunsch sowohl transparente als auch mattierte Oberflächen an:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ist ein Hightech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb von hochentwickelten Materialien konzentriert. Zu den Materialien und Technologien gehören Graphit, Siliciumcarbid, Keramik, Oberflächenbehandlungen wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. Diese Produkte werden in der Photovoltaik, Halbleiterindustrie, neuen Energien, Metallurgie usw. eingesetzt.

Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und hat zahlreiche patentierte Technologien entwickelt, um die Leistungsfähigkeit und Qualität der Produkte zu gewährleisten. Darüber hinaus können wir unseren Kunden professionelle Materiallösungen anbieten.