
DerQuarz-OfenrohreSie sind unverzichtbare Verbrauchsmaterialien in der Halbleiterfertigung, der Photovoltaikindustrie, der Wärmebehandlung von Materialien und der Laborforschung. Sie bestehen aus hochreinem Quarzglas (SiO₂) mit exzellenter thermischer Stabilität, chemischer Inertheit und optischer Transparenz. Dieses Produkt ist für Hochtemperaturprozesse (wie Diffusion, Oxidation, CVD, Tempern usw.) konzipiert und kann an verschiedene Rohröfen und PECVD-Anlagen angepasst werden, die in der Waferbearbeitung, der Beschichtung von Photovoltaikzellen, dem epitaktischen Wachstum von LEDs und anderen hochpräzisen Anwendungen weit verbreitet sind.
Die wichtigsten Vorteile der Quarzrohre von VET Energy:
-Material von ultrahoher Reinheit
Zur Vermeidung einer Kontamination empfindlicher Prozessumgebungen wird Quarzsand mit einem Reinheitsgrad von 99,99 % oder mehr und einem Verunreinigungsgehalt (Na, K, Fe usw.) von <10 ppm verwendet.
Oberflächengüte Ra≤0,8μm, wodurch die Partikelhaftung reduziert und die Gleichmäßigkeit der Beschichtung gewährleistet wird.
- Ausgezeichnete Temperaturbeständigkeit
Dauerbetriebstemperatur: 1200℃ (Dauerbetrieb); kurzzeitige Temperaturspitze: 1450℃ (≤2 Stunden).
Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient (5,5x10-7/℃), ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit, hält schnellen Temperaturanstiegen und -abfällen (≤10℃/min) stand.
-Präzise Größenkontrolle
Toleranz des Innendurchmessers ±0,5 mm, Geradheitsfehler <1 mm/m, um eine enge Passung mit dem Ofenkörper zu gewährleisten.
Unterstützung von Sonderanfertigungen, Innendurchmesserbereich 20 mm - 500 mm, Länge 100 mm - 3000 mm.
-Chemische Inertheit und Korrosionsbeständigkeit
Beständig gegen starke Säuren (außer HF), starke Laugen und die meisten organischen Lösungsmittel, wodurch die Lebensdauer verlängert wird.
Ausgezeichnete Gasdichtheit, Leckrate <<1x10-9Pa.m3/s, geeignet für Vakuum- oder Schutzgasumgebungen.
-Maßgeschneiderter Service
Stützöffnungen, Flansche, Mehrkanalkonstruktionen, Formteile und andere Ausführungen zur Erfüllung spezieller Prozessanforderungen.
Kann zur Verbesserung der Kristallisationsbeständigkeit mit einer Siliziumkarbid-(SiC)-Beschichtung vorbeschichtet werden.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ist ein Hightech-Unternehmen, das sich auf die Entwicklung und Produktion von hochentwickelten Materialien konzentriert. Zu den Materialien und Technologien gehören Graphit, Siliciumcarbid, Keramik, Oberflächenbehandlungen wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. Diese Produkte werden in großem Umfang in den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter, neue Energien, Metallurgie usw. eingesetzt.
Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und hat zahlreiche patentierte Technologien entwickelt, um die Leistungsfähigkeit und Qualität der Produkte zu gewährleisten. Darüber hinaus können wir unseren Kunden professionelle Materiallösungen anbieten.
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