Hersteller von TaC-beschichteten Graphitdeckeln

Kurze Beschreibung:

Semicera ist führend in der Halbleiterindustrie mit einer Tantalcarbid (TaC)-Produktlinie, die immer anspruchsvolleren Anforderungen gerecht wird.Mit der Einführung von 8-Zoll-Wafern aus Siliziumkarbid (SiC) sind die Temperaturanforderungen für verschiedene Halbleiterprozesse strenger geworden, insbesondere für den Epitaxieprozess, der über 2000 Grad Celsius erreichen kann.Herkömmliche Grundmaterialien wie mit Siliziumkarbid beschichteter Graphit neigen bei hohen Temperaturen dazu, zu sublimieren und den Epitaxieprozess zu zerstören.CvD-Tantalcarbid (TaC) bietet eine wirksame Lösung für dieses Problem, da es Temperaturen von bis zu 2300 Grad Celsius standhält und eine längere Lebensdauer bietet.Nehmen Sie Kontakt zu Semicera auf, um mehr über unsere mit Tantalkarbid beschichteten Abdeckplatten und unsere fortschrittlichen Lösungen zu erfahren.Unsere Produkte bieten hervorragenden Schutz für Ihren Epitaxieprozess, sorgen für Temperaturstabilität und lange Lebensdauer, verbessern so die Prozesseffizienz, senken die Kosten und verhelfen Ihnen zu mehr Erfolg.

Senden Sie uns eine E-Mail Als PDF herunterladen

Produktdetail

Produkt Tags

Die TaC-Beschichtung ist eine Art Tantalkarbid (TaC)-Beschichtung, die durch physikalische Gasphasenabscheidungstechnologie hergestellt wird und die folgenden Eigenschaften aufweist:

1. Hohe Härte: Die TaC-Beschichtungshärte ist hoch, kann normalerweise 2500–3000 HV erreichen und ist eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.

2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.

3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung kann ihre hervorragende Leistung auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen beibehalten.

4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und kann vielen chemischen Reaktionen wie Säuren und Basen widerstehen.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung
密度/ Dichte	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Spezifischer Emissionsgrad	0,3
热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Härte (HK)	2000 HK
电阻 / Widerstand	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Thermische Stabilität	<2500℃
石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen	-10~-20um
涂层厚度 / Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ist ein High-Tech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb hochwertiger fortschrittlicher Materialien konzentriert. Die Materialien und Technologien umfassen Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung usw.Die Produkte werden häufig in den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter, neue Energie, Metallurgie usw. eingesetzt.

Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen für Sie bereitstellen.

Wir heißen Sie herzlich willkommen, unsere Fabrik zu besuchen. Lassen Sie uns weitere Gespräche führen!