Hersteller von mit TaC beschichteten Graphitdeckeln

Kurzbeschreibung:

Die von VET Energy hergestellten, mit TaC beschichteten Graphitdeckel sind ein Hochleistungsprodukt, das für eine gleichbleibende und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Sie zeichnen sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und sind somit die perfekte Lösung für die Waferbearbeitung.


Produktdetails

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Die TaC-Beschichtung ist eine Art Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung, die mittels physikalischer Gasphasenabscheidung hergestellt wird und folgende Eigenschaften aufweist:

1. Hohe Härte: Die Härte der TaC-Beschichtung ist hoch und erreicht üblicherweise 2500-3000 HV; sie ist eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.

2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung von mechanischen Teilen während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.

3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung behält ihre hervorragende Leistungsfähigkeit auch unter hohen Temperaturen bei.

4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und ist beständig gegen viele chemische Reaktionen, wie z. B. Säuren und Basen.

TaC-Beschichtung11
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碳化钽涂层物理特性物理特性

Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung

密度/ Dichte

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Spezifische Emissionsfähigkeit

0,3

热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Härte (HK)

2000 HK

电阻 / Widerstand

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Thermische Stabilität

<2500℃

石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen

-10 bis -20 µm

涂层厚度 / Beschichtungsdicke

≥20µm typischer Wert (35µm±10µm)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. ist ein Hightech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb von hochentwickelten Materialien spezialisiert hat. Das Material- und Technologieportfolio umfasst Graphit, Siliciumcarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung und vieles mehr. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, der Halbleiterindustrie, der erneuerbaren Energien, der Metallurgie und weiteren Bereichen.

Unser technisches Team stammt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen daher professionellere Materiallösungen anbieten.

Wir heißen Sie herzlich willkommen zu einem Besuch in unserer Fabrik, lassen Sie uns das Thema weiter besprechen!

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