Покрытие из карбида кремния Графитовая пластина и крышка лотка

Краткое описание:

Графитовая пластина и крышка с покрытием из карбида кремния VET Energy — это высокопроизводительный продукт, предназначенный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Детали продукта

Теги продукта

ПТО ЭнергияПокрытие из карбида кремния Графитовый лоток, Plate и Cover разработаны для обеспечения высочайшего уровня производительности, обеспечивая надежную и стабильную работу при длительном использовании, что делает их незаменимым выбором для обработки пластин в полупроводниковой промышленности. Этот высокопроизводительныйГрафитовая пластина с покрытием из карбида кремнияможет похвастаться исключительной термостойкостью, превосходной термической однородностью и превосходной химической стабильностью, особенно в условиях высоких температур. Его конструкция высокой чистоты в сочетании с повышенной устойчивостью к эрозии делает его незаменимым для сложных сред, таких какMOCVD-рецепторы.

Основные характеристики покрытия из карбида кремния Графитовый лоток, пластина и крышка

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:Выдерживает температуру до 1700℃, что позволяет ему надежно работать в экстремальных условиях.

2. Высокая чистота и термическая однородность:Постоянная высокая чистота и равномерное распределение тепла имеют решающее значение для применений MOCVD.

3. Исключительная устойчивость к коррозии:Устойчив к кислотам, щелочам, солям и различным органическим реагентам, обеспечивая долговременную стабильность в различных средах.

4. Высокая твердость и компактная поверхность:Имеет плотную поверхность с мелкими частицами, повышающую общую долговечность и устойчивость к износу.

5. Увеличенный срок службы:Создан для долговечности и превосходит традиционныеграфитовые токоприемники с покрытием из карбида кремнияв суровых условиях обработки полупроводников.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 / Кристаллическая структура	FCC β-фаза多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твердость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2~10 мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа РТ 4-точечный
杨氏模量 / Модуль Юнга	Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)	4,5×10^-6K^-1

Опыт VET Energy в разработке индивидуальных решений из графита и карбида кремния

Как надежный производитель, VET Energy специализируется на графитовых токоприемниках и решениях для покрытий из карбида кремния, разработанных по индивидуальному заказу. Мы предлагаем широкий ассортимент продукции, специально разработанной для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности, в том числеГрафитовые компоненты с покрытием SiCнапример подносы, тарелки и крышки. В нашу линейку продукции также входят разнообразные варианты покрытий, такие какSiC-покрытие для MOCVD, TaC-покрытие, стеклоуглеродное покрытиеи пиролитическое углеродное покрытие, обеспечивающее удовлетворение меняющихся потребностей высокотехнологичных отраслей.

Наша опытная техническая команда, состоящая из экспертов из ведущих отечественных исследовательских институтов, предоставляет клиентам комплексные решения по материалам. Мы постоянно совершенствуем наши передовые процессы, включая эксклюзивную запатентованную технологию, которая улучшает сцепление между покрытием из карбида кремния и графитовой подложкой, снижая риск отслоения и дополнительно продлевая срок службы продукта.

Применение и преимущества в производстве полупроводников

Покрытие из карбида кремния для MOCVDделает эти графитовые токоприемники высокоэффективными в высокотемпературных и агрессивных средах. Независимо от того, используются ли эти токоприемники с покрытием из карбида кремния в качестве носителей графитовых пластин или других компонентов MOCVD, они демонстрируют превосходную долговечность и производительность. Для тех, кто ищет надежные решения вГрафитовый токоприемник с покрытием SiCНа рынке графитовый лоток, пластина и крышка с покрытием из карбида кремния компании VET Energy представляют собой надежный и универсальный вариант, отвечающий строгим требованиям полупроводниковой промышленности.

Сосредоточив внимание на передовом материаловедении, VET Energy стремится предоставлять высокопроизводительные графитовые решения с покрытием SiC, которые способствуют инновациям в обработке полупроводников и обеспечивают надежную работу во всех приложениях, связанных с MOCVD.

VET Energy является реальным производителем изделий из графита и карбида кремния по индивидуальному заказу с различными покрытиями, такими как покрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытие, пиролитическое углеродное покрытие и т. д., и может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.

Наша техническая команда из ведущих отечественных исследовательских институтов может предоставить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для создания более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая может сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее склонной к отслоению.

Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!