CVD-SiCПокрытие имеет характеристики однородной структуры, компактного материала, устойчивости к высоким температурам, стойкости к окислению, высокой чистоты, устойчивости к кислотам и щелочам и органических реагентов, а также стабильных физических и химических свойств.

По сравнению с графитовыми материалами высокой чистоты, графит начинает окисляться при 400°C, что приводит к потере порошка из-за окисления, что приводит к загрязнению окружающей среды периферийных устройств и вакуумных камер, а также к увеличению примесей среды высокой чистоты.

Однако покрытие SiC может сохранять физическую и химическую стабильность при температуре 1600 градусов. Оно широко используется в современной промышленности, особенно в полупроводниковой промышленности.

Наша компания предоставляет услуги по нанесению покрытия SiC методом CVD на поверхность графита, керамики и других материалов, так что специальные газы, содержащие углерод и кремний, реагируют при высокой температуре с получением молекул SiC высокой чистоты, молекул, осаждаемых на поверхности материалов с покрытием, образуя защитный слой SIC. Образованный SIC прочно связан с графитовой основой, придавая графитовой основе особые свойства, что делает поверхность графита компактной, непористой, устойчивой к высоким температурам, коррозионной стойкости и стойкости к окислению.

Основные особенности:

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:

стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1600 C.

2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.

3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.

4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

Основные характеристики покрытий CVD-SIC: