Графитовая подложка с покрытием из карбида кремния для полупроводников, датчик MOCVD

Графитовая подложка с покрытием из карбида кремния для полупроводников, суцептор MOCVD Рекомендуемое изображение

Краткое описание:

VET Energy SiC Coated Susceptor — это высокопроизводительный продукт, предназначенный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.

Место происхождения:Чжэцзян, Китай (материк)

Номер модели:Номер модели:

Химический состав:Графит с покрытием SiC

Прочность на изгиб:470 МПа

Теплопроводность:300 Вт/мК

Качество:Идеальный

Функция:CVD-SiC

Приложение:Полупроводниковая/фотоэлектрическая промышленность

Плотность:3,21 г/см3

Тепловое расширение:4 10-6/К

Пепел: <5 частей на миллион

Образец:Доступный

Код ТН ВЭД:6903100000

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Детали продукта

Теги продукта

Токоприемник с карбид-оксидным покрытием VET Energy— это высокопроизводительное решение, тщательно разработанное для обеспечения надежной и стабильной работы в течение длительного срока службы и отвечающее строгим требованиям производства полупроводников. Обладая исключительной термостойкостью, превосходной термической однородностью и высокой чистотой, этот продукт идеально подходит для держателей пластин MOCVD и других применений обработки пластин, требующих стабильности и точности. Его надежная устойчивость к эрозии делает его лучшим выбором для сред, где долговечность и химическая устойчивость имеют важное значение.

НашГрафитовый токоприемник с покрытием SiCявляется важнейшим компонентом в процессе производства полупроводников, используя эксклюзивную запатентованную технологию VET Energy для достижения чрезвычайно высокой чистоты, превосходной однородности покрытия и замечательной термической стабильности. Покрытие придает графитовой подложке высокую химическую стойкость и значительно увеличивает срок службы. Приверженность VET Energy качеству привела к созданию токоприемника с SiC-покрытием, который отвечает растущим потребностям рынка носителей графитовых пластин, устанавливая высокий стандарт для графитовых токоприемников с SiC-покрытием, используемых вMOCVD-процессы.

Основные характеристики токоприемников с покрытием SiC:

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:Выдерживает температуру до 1700 ℃, что делает его пригодным для экстремальных условий обработки.

2. Высокая чистота и термическая однородность:Обеспечивает стабильные результаты, что жизненно важно дляMOCVD-рецепторыи другие прецизионные приложения.

3. Отличная коррозионная стойкость:Устойчив к воздействию кислот, щелочей, солей и различных органических реагентов.

4. Повышенная твердость поверхности:Компактная поверхность с мелкими частицами, обеспечивающими повышенную прочность и долговечность.

5. Увеличенный срок службы:Разработан для обеспечения устойчивой производительности и превосходит стандартные токоприемники с покрытием из карбида кремния в суровых технологических условиях.

Являясь ведущим производителем, VET Energy специализируется на графите иизделия из карбида кремнияс различными вариантами покрытия, в том числеSiC-покрытие, TaC-покрытие, стеклоуглеродное покрытиеи пиролитическое углеродное покрытие. Мы с гордостью обслуживаем полупроводниковую и фотоэлектрическую промышленность, поставляя графитовые токоприемники с покрытием из карбида кремния, отвечающие конкретным эксплуатационным требованиям.

Наша техническая команда, имеющая опыт работы в ведущих отечественных исследовательских институтах, занимается продвижением материальных решений для удовлетворения растущих потребностейГрафитовый токоприемник с покрытием SiCрынок. Благодаря нашему запатентованному процессу компания VET Energy разработала уникальную технологию, которая значительно улучшает прочность связи между покрытием из карбида кремния и подложкой, снижая риск отслоения и повышая долгосрочную надежность.

Применение и преимущества в обработке полупроводников

SiC-покрытие для MOCVDпозволяетграфитовый токоприемниккомпоненты для сохранения целостности в условиях высоких температур и агрессивных сред, что жизненно важно для прецизионного производства полупроводников. Эти графитовые компоненты с покрытием SiC особенно ценятся в процессах, требующих токоприемников с покрытием из карбида кремния дляносители графитовых пластин, которые требуют высокой термической стабильности, чистоты и устойчивости к химической эрозии.

Благодаря нашим передовым технологиям нанесения покрытий из карбида кремния, VET Energy продолжает поддерживать рынок носителей графитовых пластин, поставляя индивидуальные высокопроизводительныеГрафитовые токоприемники с покрытием SiCкоторые решают специфические отраслевые задачи, от процессов MOCVD до приложений высокой чистоты в области полупроводников.