1. Подтверждение перед очисткой
1) КогдаГрафитовая лодочка PECVD/носитель используется более 100-150 раз, оператору необходимо вовремя проверять состояние покрытия. Если имеется аномальное покрытие, его необходимо очистить и подтвердить. Обычный цвет покрытия кремниевой пластины в графитовой лодочке/держателе — синий. Если пластина не синего цвета, имеет несколько цветов или разница в цвете между пластинами большая, это ненормальное покрытие, и причину отклонения необходимо вовремя подтвердить.
2) После того, как технолог проанализирует состояние покрытияГрафитовая лодочка PECVD/перевозчика определят, нуждается ли графитовая лодочка в чистке и необходимости замены картоприемника, а графитовая лодочка/перевозчик, нуждающаяся в чистке, будет передана на чистку персоналу оборудования.
3) Послеграфитовая лодка/носитель поврежден, производственный персонал вытащит все кремниевые пластины из графитовой лодочки и с помощью CDA (сжатого воздуха) отсортирует фрагменты вграфитовая лодка. После завершения работы персонал оборудования поднимет его в резервуар с кислотой, подготовленный с определенной пропорцией раствора HF для очистки.
2. Чистка графитовой лодки
Рекомендуется использовать 15-25% раствор плавиковой кислоты для трех циклов очистки, каждый по 4-5 часов, и периодически барботировать азот в процессе замачивания и очистки, добавляя около получаса очистки; Примечание: не рекомендуется использовать воздух непосредственно в качестве источника газа для барботажа. После маринования промойте чистой водой в течение примерно 10 часов и убедитесь, что лодочка тщательно очищена. После очистки проверьте поверхность лодки, графитовый наконечник карты, соединение листов лодки и другие детали на наличие остатков нитрида кремния. Затем сушим согласно требованиям.
3. Меры предосторожности при очистке
А) Поскольку HF-кислота является сильнокоррозионным веществом и обладает определенной летучестью, она опасна для операторов. Поэтому операторы на посту очистки должны соблюдать меры предосторожности и находиться под руководством специального человека.
Б) Рекомендуется разобрать лодку и при чистке чистить только графитовую часть, чтобы можно было более тщательно очистить каждую контактную часть. В настоящее время многие отечественные производители используют общую очистку, что удобно, но поскольку HF-кислота вызывает коррозию керамических деталей, общая очистка сокращает срок службы соответствующих деталей.
Время публикации: 23 декабря 2024 г.