CVD-покрытие из карбида кремния MOCVD-токоприемник

CVD-покрытие из карбида кремния. MOCVD-приемник. Изображенное изображение.

Краткое описание:

MOCVD Susceptor VET Energy с SiC-покрытием — это высокопроизводительный продукт, предназначенный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.

Место происхождения:Чжэцзян, Китай (материк)

Номер модели:Лодка3002

Химический состав:Графит с покрытием SiC

Электрическое сопротивление:11 мкОм·м

Твердость по Шору: 58

Теплопроводность:116 Вт/мК (100 ккал/мч-℃)

Образец:Доступный

Код ТН ВЭД:6903100000

Название бренда:ПОО

Плотность:1,85 г/см3

Прочность на изгиб:49 МПа

Пепел: <5 частей на миллион

Качество:Идеальный

Приложение:Полупроводниковая/фотоэлектрическая промышленность

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Детали продукта

Теги продукта

ПОО ЭнергияСуссептор MOCVD с покрытием SiC— это высокопроизводительный продукт, разработанный для стабильной и надежной работы при обработке пластин. ПревосходныйSiC-покрытие, он обеспечивает исключительную термостойкость, термическую однородность и устойчивость к коррозии. Идеально подходит дляMOCVD-оборудование, этоттокоприемник с покрытием из карбида кремнияобеспечивает оптимальныйвафлярост и продление срока службы оборудования.

Характеристики продукта:

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению до 1700 ℃.: Наше покрытие SiC обеспечивает исключительную термическую стабильность даже в самых сложных условиях MOCVD.

2. Высокая чистота и термическая однородность.: Токоприемник из карбида кремния гарантирует минимальное количество примесей и равномерный нагрев всей пластины, обеспечивая превосходное качество кристаллов.

3. Отличная коррозионная стойкость: Устойчивый к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам, наш токоприемник сохраняет свою целостность в различных химических средах.

4. Высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.: Эти свойства способствуют увеличению срока службы и повышению долговечности.

Преимущества и применение нашей продукции с покрытием из карбида кремния CVD

Суцепторы MOCVD обеспечивают значительные преимущества в производстве полупроводников. Покрытие SiC повышает качество пластин, уменьшает количество дефектов и оптимизирует эффективность производства. VET Energy поставляет широкий ассортимент продукции из карбида кремния, адаптированной к конкретным потребностям полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.

Настройка продукта и техническая поддержка

Являясь ведущим производителем изделий из карбида кремния и графита, VET Energy предлагает индивидуальные решения с различными покрытиями, такими как SiC, TaC, стеклоуглерод и пироуглерод. Наша опытная команда может предоставить экспертное руководство и поддержку для вашего конкретного применения.