Anneaux segmentés en graphite avec revêtement en carbure de tantale

Brève description:

La popularité des plaquettes en carbure de silicium (SiC) de 8 pouces a rendu les exigences de température des processus de semi-conducteurs plus strictes.Cependant, les matériaux de base traditionnels ne peuvent pas résister aux tests des environnements à haute température et sont sujets à la sublimation et aux dommages causés par le processus épitaxial.Heureusement, les produits en carbure de tantale (TaC) CvD de Semicera vous offrent une solution fiable.Notre carbure de tantale (TaC) a une excellente résistance aux températures élevées, peut résister à des températures extrêmes jusqu'à 2 300 degrés Celsius et offre une durée de vie plus longue.Contactez Semicera dès aujourd'hui pour en savoir plus sur nos solutions avancées, y compris les options personnalisées pour les plaques de recouvrement revêtues de carbure de tantale.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Le revêtement TaC est une sorte de revêtement en carbure de tantale (TaC) préparé par la technologie de dépôt physique en phase vapeur. Il présente les caractéristiques suivantes :

1. Dureté élevée : la dureté du revêtement TaC est élevée, peut généralement atteindre 2500-3000HV, c'est un excellent revêtement dur.

2. Résistance à l'usure : le revêtement TaC est très résistant à l'usure, ce qui peut réduire efficacement l'usure et les dommages des pièces mécaniques pendant l'utilisation.

3. Bonne résistance aux hautes températures : le revêtement TaC peut également maintenir ses excellentes performances dans un environnement à haute température.

4. Bonne stabilité chimique : le revêtement TaC a une bonne stabilité chimique et peut résister à de nombreuses réactions chimiques, telles que les acides et les bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriétés physiques de TaC enrobage
密度/ Densité	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Émissivité spécifique	0,3
热膨胀系数 / Coefficient de dilatation thermique	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureté (HK)	2000 Hong Kong
电阻 / Résistance	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilité thermique	<2500℃
石墨尺寸变化 / Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
涂层厚度 / Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie axée sur la production et la vente de matériaux avancés haut de gamme, de matériaux et de technologies couvrant le graphite, le carbure de silicium, la céramique, le traitement de surface, etc.Les produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.

Notre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Bienvenue chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !