Support de revêtement SiC pour RTP/RTA est un composant clé utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs appelés traitement thermique et recuit rapides. Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer le support en carbure de silicium avec une pureté extrêmement élevée, une bonne uniformité de revêtement et une excellente durée de vie, comme ainsi que des propriétés élevées de résistance chimique et de stabilité thermique.
Caractéristiques de nos produits :
1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700 ℃.
2. Haute pureté et uniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Haute dureté, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable
| MCV SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du CVD SiCrevêtement | |
| 性质 / Propriété | 典型数值 / Valeur typique |
| 晶体结构 / Structure Cristalline | Phase β du FCC多晶，主要为（111) |
| 密度 / Densité | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureté | 2500 维氏硬度 (charge de 500 g) |
| 晶粒大小 / TAILLE DES GRAINS | 2~10μm |
| 纯度 / Pureté chimique | 99,99995% |
| 热容 / Capacité thermique | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Température de sublimation | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Résistance à la flexion | 415 MPa RT 4 points |
| 杨氏模量 / Module de Young | Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermesjeConductivité | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Expansion thermique (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy est le véritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec différents revêtements tels que le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement de carbone vitreux, le revêtement de carbone pyrolytique, etc., et peut fournir diverses pièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.
Notre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.
Nous développons continuellement des processus avancés pour fournir des matériaux plus avancés et avons élaboré une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus serrée et moins sujette au détachement.
Bienvenue chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !
