Suscepteur en graphite recouvert de carbure de silicium pour la gravure LED

Brève description :

Le suscepteur en carbure de silicium pour la gravure LED (plateau SiC) est un accessoire spécial pour la gravure profonde du silicium (machine de gravure ICP). support de plaquette, également connu sous le nom de support de plaquette, support de plaquette de silicium, également connu sous le nom de plaquette de poche. Largement utilisé dans le CVD de semi-conducteurs et la pulvérisation sous vide.


Détail du produit

Mots clés du produit

Le suscepteur recouvert de carbure de silicium esta clécomposant utilisé dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs.Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer le suscepteur revêtu de carbure de silicium avecune pureté extrêmement élevée,bienrevêtementuniformitéet une excellente durée de vie, ainsi quepropriétés élevées de résistance chimique et de stabilité thermique.

L'énergie de l'EFP est levéritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec revêtement CVD,peut fournirdiverspièces sur mesure pour l'industrie des semi-conducteurs et photovoltaïque. ONotre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.

Nous développons continuellement des processus avancés pour fournir des matériaux plus avancés,etont développé une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus serrée et moins sujette au détachement.

FCaractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700.
2. Haute pureté etuniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Haute dureté, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

MCV SiC薄膜基本物理性能

Propriétés physiques de base du CVD SiCrevêtement

性质 / Propriété

典型数值 / Valeur typique

晶体结构 / Structure Cristalline

Phase β du FCC多晶,主要为(111)

密度 / Densité

3,21 g/cm³

硬度 / Dureté

2500 维氏硬度 (charge de 500 g)

晶粒大小 / TAILLE DES GRAINS

2~10μm

纯度 / Pureté chimique

99,99995%

热容 / Capacité thermique

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Température de sublimation

2700 ℃

抗弯强度 / Résistance à la flexion

415 MPa RT 4 points

杨氏模量 / Module de Young

Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / ThermesjeConductivité

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Expansion thermique (CTE)

4,5×10-6K-1

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Bienvenue chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


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