Bateau de dépôt en graphite

Image en vedette d'un bateau à plaquettes de graphite pour le dépôt

Description courte :

Le porte-plaquettes en graphite de VET Energy est un consommable de haute qualité conçu pour les procédés de dépôt dans les industries des semi-conducteurs, du photovoltaïque et autres. Fabriqué en graphite haute pureté et haute densité, ce produit présente une excellente résistance aux hautes températures et à la corrosion, ainsi qu'une grande stabilité dimensionnelle. Il offre un support stable pour le dépôt de couches minces, garantissant ainsi leur uniformité et leur planéité.

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Le creuset en graphite pour PECVD de VET Energy est fabriqué à partir de graphite isostatique de haute pureté, présentant une porosité inférieure à 15 % et une rugosité de surface Ra ≤ 1,6 μm. Sa stabilité dimensionnelle et sa conductivité thermique supérieures garantissent un dépôt de film uniforme et une efficacité cellulaire accrue.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510
Indice	Norme d'essai	Valeur	Unité
granulométrie moyenne	ISO 13320	10	μm
densité apparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosité ouverte	DIN66133	10	%
taille des pores moyenne	DIN66133	1.8	μm
Perméabilité	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
résistivité électrique spécifique	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Résistance à la flexion	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Résistance à la compression	DIN 51910	130	MPa
module de Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Dilatation thermique (20-200℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Conductivité thermique (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Elle est spécialement conçue pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement de plaquettes de grande taille G12. La conception optimisée des supports augmente considérablement le débit, permettant des rendements plus élevés et des coûts de production réduits.

Article	Taper	porte-plaquettes numéroté
Bateau PEVCD Grephite - Série 156	156-13 bateau gréphite	144
	156-19 bateau gréphite	216
	Bateau gréphite 156-21	240
	Bateau en graphite 156-23	308
Bateau PEVCD Grephite - Série 125	Bateau grephite 125-15	196
	Bateau grephite 125-19	252
	Bateau en graphite 125-21	280