Bateau à plaquettes de graphite pour dépôt

Bateau de plaquettes de graphite pour le dépôt

Brève description :

Le bateau à plaquettes de graphite VET Energy est un consommable de haute qualité adapté aux processus de dépôt dans les industries des semi-conducteurs, du photovoltaïque et autres. Fabriqué à partir d'un matériau graphite de haute pureté et haute densité, ce produit présente une excellente résistance aux températures élevées, une résistance à la corrosion, une stabilité dimensionnelle et d'autres caractéristiques, et peut fournir une plate-forme de support stable pour le processus de dépôt afin de garantir l'uniformité et la planéité du dépôt de couche mince. .

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Détail du produit

Mots clés du produit

Le bateau en graphite PECVD de VET Energy est fabriqué avec du graphite isostatique de haute pureté, présentant une porosité inférieure à 15 % et une rugosité de surface Ra≤1,6 μm. La stabilité dimensionnelle et la conductivité thermique supérieures garantissent un dépôt de film uniforme et une efficacité cellulaire améliorée.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510
Indice	Norme d'essai	Valeur	Unité
Taille moyenne des grains	OIN 13320	10	µm
Densité apparente	DIN CEI 60413/204	1,83	g/cm³
Porosité ouverte	DIN66133	10	%
Pores de taille moyenne	DIN66133	1.8	µm
Perméabilité	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100	DIN CEI60413/303	90	HR
Résistivité électrique spécifique	DIN CEI 60413/402	13	μΩm
Résistance à la flexion	DIN CEI 60413/501	60	MPa
Résistance à la compression	DIN 51910	130	MPa
Module de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansion thermique (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivité thermique (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Il est spécialement conçu pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement des tranches G12 de grande taille. La conception optimisée du transporteur augmente considérablement le débit, permettant des taux de rendement plus élevés et des coûts de production inférieurs.

Article	Taper	Support de plaquette numérotée
Bateau PEVCD Grephite - La série 156	Bateau en graphite 156-13	144
	Bateau en graphite 156-19	216
	156-21 bateau en graphite	240
	Bateau en graphite 156-23	308
Bateau PEVCD Grephite - La série 125	Bateau en graphite 125-15	196
	Bateau en graphite 125-19	252
	Bateau en graphite 125-21	280