Prise en charge des plaquettes de graphite PECVD

Brève description :

Conçu pour la précision et la performance, le support de plaquette en graphite de VET Energy est le matériau idéal pour une utilisation dans le traitement avancé des plaquettes, où une stabilité thermique élevée et des performances constantes sont essentielles. Que vous travailliez avec des tranches de semi-conducteurs ou d'autres substrats délicats, ce support en graphite de haute qualité améliorera la fiabilité de vos processus et la qualité de vos produits, ce qui en fera un composant indispensable pour la fabrication moderne.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Le support de plaquette de graphite du processus VET Energy PECVD est un consommable de base conçu pour le processus PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma). Ce produit est fabriqué à partir d'un matériau graphite de haute pureté et haute densité, avec une excellente résistance aux températures élevées, une résistance à la corrosion, une stabilité dimensionnelle et d'autres caractéristiques, peut fournir une plate-forme de support stable pour le processus PECVD, afin de garantir l'uniformité et la planéité du dépôt du film.

La conception « support en graphite » du support de plaquette de graphite VET Energy peut non seulement soutenir efficacement la plaquette, mais également fournir une stabilité thermique dans l'environnement PECVD à haute température et haute pression pour assurer la stabilité du processus.

Le support de plaquette de graphite du procédé VET Energy PECVD présente les caractéristiques suivantes :

▪Haute pureté :teneur en impuretés extrêmement faible, évite la contamination du film, pour garantir la qualité du film.

▪Haute densité :haute densité, haute résistance mécanique, peut résister à un environnement PECVD à haute température et haute pression.

▪Bonne stabilité dimensionnelle :petits changements dimensionnels à haute température pour assurer la stabilité du processus.

▪Excellente conductivité thermique :transférer efficacement la chaleur pour éviter la surchauffe des plaquettes.

▪Forte résistance à la corrosion :Capable de résister à l’érosion par divers gaz corrosifs et plasma.

▪Prestation personnalisée :Les tables de support en graphite de différentes tailles et formes peuvent être personnalisées selon les besoins du client.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510
Indice	Norme d'essai	Valeur	Unité
Taille moyenne des grains	OIN 13320	10	µm
Densité apparente	DIN CEI 60413/204	1,83	g/cm³
Porosité ouverte	DIN66133	10	%
Pores de taille moyenne	DIN66133	1.8	µm
Perméabilité	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100	DIN CEI60413/303	90	HR
Résistivité électrique spécifique	DIN CEI 60413/402	13	μΩm
Résistance à la flexion	DIN CEI 60413/501	60	MPa
Résistance à la compression	DIN 51910	130	MPa
Module de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansion thermique (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivité thermique (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Il est spécialement conçu pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement des tranches G12 de grande taille. La conception optimisée du transporteur augmente considérablement le débit, permettant des taux de rendement plus élevés et des coûts de production inférieurs.

Article	Taper	Support de plaquette numérotée
Bateau PEVCD Grephite - La série 156	Bateau en graphite 156-13	144
	Bateau en graphite 156-19	216
	156-21 bateau en graphite	240
	Bateau en graphite 156-23	308
Bateau PEVCD Grephite - La série 125	Bateau en graphite 125-15	196
	Bateau en graphite 125-19	252
	Bateau en graphite 125-21	280