Support de plaquette en graphite PECVD

Description courte :

Conçu pour la précision et la performance, le support de plaquettes en graphite de VET Energy est le matériau idéal pour les procédés de traitement de plaquettes de pointe, où une stabilité thermique élevée et des performances constantes sont essentielles. Que vous travailliez avec des plaquettes de semi-conducteurs ou d'autres substrats délicats, ce support en graphite de haute qualité améliorera la fiabilité de vos processus et la qualité de vos produits, ce qui en fait un composant indispensable à la fabrication moderne.

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Le support de plaquettes en graphite pour procédé PECVD de VET Energy est un consommable essentiel conçu pour le procédé PECVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma). Fabriqué en graphite haute pureté et haute densité, ce produit présente d'excellentes caractéristiques de résistance aux hautes températures et à la corrosion, ainsi qu'une grande stabilité dimensionnelle. Il offre une plateforme de support stable pour le procédé PECVD, garantissant ainsi l'uniformité et la planéité du dépôt de film.

La conception du « support en graphite » du support de plaquette en graphite de VET Energy permet non seulement de supporter efficacement la plaquette, mais aussi d'assurer une stabilité thermique dans l'environnement PECVD à haute température et haute pression afin de garantir la stabilité du processus.

Le support de plaquettes en graphite utilisé dans le procédé PECVD de VET Energy présente les caractéristiques suivantes :

▪Haute pureté :Teneur en impuretés extrêmement faible, évitant toute contamination du film, afin de garantir sa qualité.

▪Haute densité :haute densité, haute résistance mécanique, peut résister à un environnement PECVD à haute température et haute pression.

▪Bonne stabilité dimensionnelle :de faibles variations dimensionnelles à haute température pour assurer la stabilité du processus.

▪Excellente conductivité thermique :Transférer efficacement la chaleur pour éviter la surchauffe de la plaquette.

▪Forte résistance à la corrosion :Capable de résister à l'érosion par divers gaz corrosifs et plasma.

▪Service personnalisé :Des supports en graphite de différentes tailles et formes peuvent être personnalisés selon les besoins du client.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510
Indice	Norme d'essai	Valeur	Unité
granulométrie moyenne	ISO 13320	10	μm
densité apparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosité ouverte	DIN66133	10	%
taille des pores moyenne	DIN66133	1.8	μm
Perméabilité	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
résistivité électrique spécifique	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Résistance à la flexion	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Résistance à la compression	DIN 51910	130	MPa
module de Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Dilatation thermique (20-200℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Conductivité thermique (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Elle est spécialement conçue pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement de plaquettes de grande taille G12. La conception optimisée des supports augmente considérablement le débit, permettant des rendements plus élevés et des coûts de production réduits.

Article	Taper	porte-plaquettes numéroté
Bateau PEVCD Grephite - Série 156	156-13 bateau gréphite	144
	156-19 bateau gréphite	216
	Bateau gréphite 156-21	240
	Bateau en graphite 156-23	308
Bateau PEVCD Grephite - Série 125	Bateau grephite 125-15	196
	Bateau grephite 125-19	252
	Bateau en graphite 125-21	280