Support en graphite pour le procédé PECVD

Support en graphite pour procédé PECVD (Image mise en avant)

Description courte :

VET EnergyLe creuset en graphite pour PECVD destiné aux panneaux solaires est un composant de pointe conçu spécifiquement pour la production de panneaux solaires haute performance. Utilisé dans les procédés de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD), ce creuset en graphite garantit une manipulation optimale des matériaux et un dépôt uniforme de couches minces sur les cellules solaires. Conçu pour la précision et la durabilité, il offre une conductivité thermique supérieure, une haute résistance à la corrosion et une contamination minimale, autant d'atouts essentiels à la production de panneaux solaires efficaces et de haute qualité.

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Détails du produit

Étiquettes de produit

VET EnergyLe support en graphite pour procédé PECVD est un consommable de haute qualité conçu spécifiquement pour ce procédé (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma). Fabriqué à partir de graphite de haute pureté et haute densité, ce support présente d'excellentes caractéristiques de résistance aux hautes températures et à la corrosion, ainsi qu'une grande stabilité dimensionnelle. Il constitue ainsi une plateforme stable pour le procédé PECVD, garantissant l'uniformité et la planéité du dépôt de couches minces.

Les supports en graphite pour le procédé PECVD présentent les caractéristiques suivantes :

▪ Haute pureté : teneur en impuretés extrêmement faible, évitant la contamination du film et garantissant sa qualité.

▪ Haute densité : haute densité, haute résistance mécanique, capable de résister à un environnement PECVD à haute température et haute pression.

▪ Bonne stabilité dimensionnelle : faible variation dimensionnelle à haute température, assurant la stabilité du processus.

▪ Excellente conductivité thermique : transfère efficacement la chaleur pour éviter la surchauffe de la plaquette.

▪ Forte résistance à la corrosion : capable de résister à l'érosion par divers gaz corrosifs et plasma.

▪ Service personnalisé : les supports en graphite de différentes tailles et formes peuvent être personnalisés selon les besoins du client.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510
Indice	Norme d'essai	Valeur	Unité
granulométrie moyenne	ISO 13320	10	μm
densité apparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosité ouverte	DIN66133	10	%
taille des pores moyenne	DIN66133	1.8	μm
Perméabilité	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
résistivité électrique spécifique	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Résistance à la flexion	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Résistance à la compression	DIN 51910	130	MPa
module de Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Dilatation thermique (20-200℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Conductivité thermique (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Elle est spécialement conçue pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement de plaquettes de grande taille G12. La conception optimisée des supports augmente considérablement le débit, permettant des rendements plus élevés et des coûts de production réduits.

Article	Taper	porte-plaquettes numéroté
Bateau PEVCD Grephite - Série 156	156-13 bateau gréphite	144
	156-19 bateau gréphite	216
	Bateau gréphite 156-21	240
	Bateau en graphite 156-23	308
Bateau PEVCD Grephite - Série 125	Bateau grephite 125-15	196
	Bateau grephite 125-19	252
	Bateau en graphite 125-21	280