Support graphite pour procédé PECVD

Support en graphite pour le procédé PECVD

Brève description :

EFP ÉnergieLe bateau en graphite PECVD pour panneau solaire est un composant avancé conçu spécifiquement pour la production de panneaux solaires haute performance. Utilisé dans les processus de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), ce bateau en graphite assure une manipulation optimale des matériaux et un dépôt uniforme de films minces sur les cellules solaires. Conçu pour la précision et la durabilité, il offre une conductivité thermique supérieure, une résistance élevée à la corrosion et une contamination minimale, essentielles à la production de panneaux solaires efficaces et de haute qualité.

Envoyez-nous un e-mail Télécharger au format PDF

Détail du produit

Mots clés du produit

EFP ÉnergieLe support en graphite du procédé PECVD est un consommable de haute qualité adapté au procédé PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma). Ce support en graphite est fabriqué à partir d'un matériau graphite de haute pureté et haute densité, avec une excellente résistance aux températures élevées, une résistance à la corrosion, une stabilité dimensionnelle et d'autres caractéristiques, peut fournir une plate-forme de support stable pour le processus PECVD, afin de garantir l'uniformité et la planéité du film mince. déposition.

Les supports graphite pour le procédé PECVD présentent les caractéristiques suivantes :

▪ Haute pureté : teneur en impuretés extrêmement faible, évitant la contamination du film et garantissant la qualité du film.

▪ Haute densité : haute densité, haute résistance mécanique, capable de résister à des températures et pressions élevées dans un environnement PECVD.

▪ Bonne stabilité dimensionnelle : faible variation dimensionnelle à haute température, assurant la stabilité du procédé.

▪ Excellente conductivité thermique : transfère efficacement la chaleur pour éviter la surchauffe de la plaquette.

▪ Forte résistance à la corrosion : capable de résister à l'érosion par divers gaz corrosifs et plasma.

▪ Service personnalisé : des supports en graphite de différentes tailles et formes peuvent être personnalisés en fonction des besoins du client.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510
Indice	Norme d'essai	Valeur	Unité
Taille moyenne des grains	OIN 13320	10	µm
Densité apparente	DIN CEI 60413/204	1,83	g/cm³
Porosité ouverte	DIN66133	10	%
Pores de taille moyenne	DIN66133	1.8	µm
Perméabilité	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100	DIN CEI60413/303	90	HR
Résistivité électrique spécifique	DIN CEI 60413/402	13	μΩm
Résistance à la flexion	DIN CEI 60413/501	60	MPa
Résistance à la compression	DIN 51910	130	MPa
Module de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansion thermique (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivité thermique (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Il est spécialement conçu pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement des tranches G12 de grande taille. La conception optimisée du transporteur augmente considérablement le débit, permettant des taux de rendement plus élevés et des coûts de production inférieurs.

Article	Taper	Support de plaquette numérotée
Bateau PEVCD Grephite - La série 156	Bateau en graphite 156-13	144
	Bateau en graphite 156-19	216
	156-21 bateau en graphite	240
	Bateau en graphite 156-23	308
Bateau PEVCD Grephite - La série 125	Bateau en graphite 125-15	196
	Bateau en graphite 125-19	252
	Bateau en graphite 125-21	280