EFP ÉnergieLe bateau en graphite PECVD pour cellules solaires est un consommable de base conçu pour le processus PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma) des cellules solaires. Le bateau en graphite est constitué de graphite isostatique de haute pureté avec une porosité inférieure à 15 % et une rugosité de surface Ra≤1,6 μm. Il possède d'excellentes propriétés telles que la résistance aux températures élevées, la résistance à la corrosion et la stabilité dimensionnelle. L'excellente stabilité dimensionnelle et la conductivité thermique garantissent un dépôt uniforme du film et améliorent l'efficacité de la batterie. Il peut fournir un support stable dans un environnement PECVD à haute température et haute pression pour garantir un dépôt uniforme et une haute qualité des films de cellules solaires.
Matériau graphite de SGL :
Paramètre typique : R6510 | |||
Indice | Norme d'essai | Valeur | Unité |
Taille moyenne des grains | OIN 13320 | 10 | µm |
Densité apparente | DIN CEI 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
Porosité ouverte | DIN66133 | 10 | % |
Pores de taille moyenne | DIN66133 | 1.8 | µm |
Perméabilité | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Dureté Rockwell HR5/100 | DIN CEI60413/303 | 90 | HR |
Résistivité électrique spécifique | DIN CEI 60413/402 | 13 | μΩm |
Résistance à la flexion | DIN CEI 60413/501 | 60 | MPa |
Résistance à la compression | DIN 51910 | 130 | MPa |
Module de Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Expansion thermique (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Conductivité thermique (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Il est spécialement conçu pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement des tranches G12 de grande taille. La conception optimisée du transporteur augmente considérablement le débit, permettant des taux de rendement plus élevés et des coûts de production inférieurs.
Article | Taper | Support de plaquette numérotée |
Bateau PEVCD Grephite - La série 156 | Bateau en graphite 156-13 | 144 |
Bateau en graphite 156-19 | 216 | |
156-21 bateau en graphite | 240 | |
Bateau en graphite 156-23 | 308 | |
Bateau PEVCD Grephite - La série 125 | Bateau en graphite 125-15 | 196 |
Bateau en graphite 125-19 | 252 | |
Bateau en graphite 125-21 | 280 |