Anneau en graphite recouvert de carbure de silicium CVD

Brève description :

L'anneau en graphite revêtu de carbure de silicium VET Energy est un produit haute performance conçu pour fournir des performances constantes et fiables sur une période prolongée. Il présente une très bonne résistance à la chaleur et une uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Propriétés typiques du matériau de base en graphite :

Densité apparente :	1,85 g/cm3
Résistivité électrique :	11 μΩm
Résistance à la flexion :	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureté Shore :	58
Cendre:	<5 ppm
Conductivité thermique :	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Nous fournissons divers suscepteurs et composants en graphite pour tous les réacteurs d'épitaxie actuels. Nos produits comprennent des suscepteurs cylindriques pour les unités LPE, des suscepteurs en forme de crêpe pour les unités LPE, CSD et Gemini, ainsi que des suscepteurs à plaquette unique pour les unités appliquées et ASM.

En combinant des partenariats solides avec des équipementiers de premier plan, une expertise en matériaux et un savoir-faire en matière de fabrication, vet propose la conception optimale pour votre application.

L'énergie de l'EFP est levéritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec revêtement CVD,peut fournirdiverspièces sur mesure pour l'industrie des semi-conducteurs et photovoltaïque. ONotre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.

FCaractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700℃.
2. Haute pureté etuniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Haute dureté, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

MCV SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du CVD SiCrevêtement
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure Cristalline	Phase β du FCC多晶，主要为（111)
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
晶粒大小 / TAILLE DES GRAINS	2~10μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
热容 / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 / Module de Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / ThermesjeConductivité	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansion thermique (CTE)	4,5×10^-6K^-1