Anneau en graphite revêtu de carbure de silicium CVD

Bague en graphite revêtue de carbure de silicium CVD (image mise en avant)

Description courte :

L'anneau en graphite revêtu de carbure de silicium de VET Energy est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue durée. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une grande uniformité thermique, une pureté élevée et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Propriétés typiques du graphite de base :

Densité apparente :	1,85 g/cm3
Résistivité électrique :	11 μΩm
Résistance à la flexion :	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureté Shore :	58
Cendre:	<5 ppm
Conductivité thermique :	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Nous fournissons divers suscepteurs et composants en graphite pour tous les réacteurs d'épitaxie actuels. Notre gamme de produits comprend des suscepteurs cylindriques pour les unités LPE, des suscepteurs plats pour les unités LPE, CSD et Gemini, ainsi que des suscepteurs monocouches pour les unités d'épitaxie appliquée et ASM.

En combinant des partenariats solides avec les principaux équipementiers, une expertise en matériaux et un savoir-faire en matière de fabrication, Vet offre la conception optimale pour votre application.

VET Energy est leVéritable fabricant de produits personnalisés en graphite et carbure de silicium avec revêtement CVD,peut fournirdiversPièces sur mesure pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque. ONotre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.

FCaractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700℃.
2. Haute pureté etuniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, bases, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques fondamentales du SiC CVDrevêtement
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure cristalline	Phase β de la structure cubique à faces centrées (CFC)多晶，主要为（111)
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
晶粒大小 / Taille du grain	2~10 μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
热容 / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 Module de Young	430 Gpa flexion 4 points, 1300℃
导热系数 / ThermielConductivité	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)	4,5×10^-6K^-1