Suscepteur de baril épitaxial en graphite épi

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Brève description :

VET Energy est un fabricant, fournisseur et exportateur professionnel de suscepteurs de baril épitaxiaux en graphite épi. Nous disposons d'une solide équipe de R&D et possédons des technologies brevetées pour fournir aux clients des matériaux avancés de haute qualité. Nous vous invitons à visiter notre usine pour une discussion plus approfondie.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Suscepteur de baril épitaxial en graphite épi

Suscepteur de baril épitaxial en graphite épiest un dispositif de support et de chauffage spécialement conçu pour maintenir et chauffer les substrats semi-conducteurs pendant les processus de fabrication tels que les processus de dépôt ou d'épitaxie.

Sa structure comprend généralement une forme cylindrique ou légèrement en forme de tonneau, sa surface présente de multiples poches ou plates-formes pour placer les plaquettes, elle peut être de conception solide ou creuse, selon la méthode de chauffage.

Les principales fonctions du suscepteur épitaxial à barillet :

-Support de substrat : maintient en toute sécurité plusieurs tranches de semi-conducteurs ;
-Source de chaleur : fournit les températures élevées nécessaires à la croissance grâce au chauffage ;
-Uniformité de la température : assure un chauffage uniforme des substrats ;
-Rotation : tourne généralement pendant la croissance pour améliorer l'uniformité de la température et de la distribution des gaz.

Principe de fonctionnement du suscepteur à baril en graphite Epi :
- Dans le réacteur épitaxial, le suscepteur du canon est chauffé à la température requise (généralement 1 000 ℃-1 200 ℃ pour l'épitaxie du silicium) ;
-Le suscepteur du baril tourne pour assurer une répartition uniforme de la température et un débit de gaz ;
-Les gaz de réaction se décomposent à haute température, formant des couches épitaxiales à la surface du substrat.

Applications :
-Principalement utilisé pour la croissance épitaxiale du silicium
-Également applicable pour l'épitaxie d'autres matériaux semi-conducteurs comme GaAs, InP, etc.

VET Energy utilise du graphite de haute pureté avec un revêtement CVD-SiC pour améliorer la stabilité chimique :

Les avantages du suscepteur de baril en graphite épitaxial VET Energy :

-Stabilité à haute température ;
-Bonne uniformité thermique ;
-Peut traiter plusieurs substrats simultanément, améliorant ainsi l'efficacité de la production ;
-Chimiquement inerte, maintenant un environnement de croissance de haute pureté.

Informations sur l'entreprise

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie axée sur la production et la vente de matériaux avancés haut de gamme, de matériaux et de technologies comprenant le graphite, le carbure de silicium, la céramique, le traitement de surface comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le carbone vitreux. revêtement, revêtement de carbone pyrolytique, etc., ces produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.

Notre équipe technique provient des meilleurs instituts de recherche nationaux et a développé plusieurs technologies brevetées pour garantir les performances et la qualité des produits, et peut également fournir aux clients des solutions matérielles professionnelles.

Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre laboratoire et notre usine pour des discussions techniques et des coopérations !