Suscepteur de baril pour épitaxie en phase liquide LPE

Suscepteur tonneau pour épitaxie en phase liquide LPE

EPI (épitaxie)est un processus critique dans la fabrication de semi-conducteurs avancés. Cela implique le dépôt de fines couches de matériau sur un substrat pour créer des structures de dispositifs complexes. Les suscepteurs en graphite à revêtement SiC pour EPI sont couramment utilisés comme suscepteurs dans les réacteurs EPI en raison de leur excellente conductivité thermique et de leur résistance aux températures élevées. AvecRevêtement CVD-SiC, il devient plus résistant à la contamination, à l’érosion et aux chocs thermiques. Cela se traduit par une durée de vie plus longue du suscepteur et une qualité de film améliorée.

Avantages de notre suscepteur à fût pour épitaxie en phase liquide LPE :
Contamination réduite :La nature inerte du SiC empêche les impuretés d'adhérer à la surface du suscepteur, réduisant ainsi le risque de contamination des films déposés.
Résistance accrue à l’érosion :Le SiC est nettement plus résistant à l'érosion que le graphite conventionnel, ce qui entraîne une durée de vie plus longue du suscepteur.
Stabilité thermique améliorée :Le SiC possède une excellente conductivité thermique et peut résister à des températures élevées sans distorsion significative.
Qualité de film améliorée :La stabilité thermique améliorée et la contamination réduite permettent d'obtenir des films déposés de meilleure qualité avec une uniformité et un contrôle d'épaisseur améliorés.