suscepteur de plaque revêtu de TaC CVD

Description courte :

Le suscepteur à plaque revêtue de TaC par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de VET Energy est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue durée. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une grande uniformité thermique, une pureté élevée et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.


Détails du produit

Étiquettes de produit

LeRevêtement CVD TaCLe support de plaque de vet-china est conçu pour des performances élevées dans les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Ce support présente une structure robuste.revêtement TaC (carbure de tantale)Offrant une stabilité thermique, une résistance chimique et une durabilité exceptionnelles, il constitue une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs et les applications à haute température.revêtement CVD TaCassure une excellente résistance à l'oxydation et à l'usure, permettant au suscepteur de conserver son intégrité et son fonctionnement dans des environnements difficiles.

vétérinaire de ChineRevêtement CVD TaCLe suscepteur à plaque se distingue par sa capacité à répartir uniformément la chaleur lors des procédés CVD, garantissant un dépôt de couches précis et améliorant l'efficacité de la fabrication des semi-conducteurs. Le revêtement Ta-C offre une protection supplémentaire contre la corrosion chimique, prolongeant la durée de vie du suscepteur et optimisant ses performances globales. Grâce à l'association d'une technologie CVD de pointe et de revêtements chimiques Ta-C de haute qualité, ce suscepteur est un composant essentiel pour les industries exigeant précision et fiabilité dans les environnements à haute température.

Qu’il soit utilisé dans la production de semi-conducteurs ou dans d’autres applications de haute technologie,Suscepteur à plaque revêtue de TaC CVDConçu pour répondre aux exigences de la fabrication moderne, ce produit bénéficie de la réputation d'innovation et de qualité de Semicera. Il offre des performances supérieures et une durabilité exceptionnelle, ce qui en fait un choix de confiance pour les procédés CVD.

Le revêtement TaC est un type de revêtement en carbure de tantale (TaC) préparé par la technologie de dépôt physique en phase vapeur ; il présente les caractéristiques suivantes :

1. Dureté élevée : Le revêtement TaC présente une dureté élevée, pouvant généralement atteindre 2500-3000 HV, ce qui en fait un excellent revêtement dur.

2. Résistance à l'usure : Le revêtement TaC est très résistant à l'usure, ce qui permet de réduire efficacement l'usure et les dommages des pièces mécaniques pendant leur utilisation.

3. Bonne résistance aux hautes températures : le revêtement TaC conserve également ses excellentes performances dans un environnement à haute température.

4. Bonne stabilité chimique : le revêtement TaC possède une bonne stabilité chimique et peut résister à de nombreuses réactions chimiques, telles que les acides et les bases.

Revêtement TaC13
Revêtement TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propriétés physiques de TaC revêtement

密度/ Densité

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Émissivité spécifique

0,3

热膨胀系数 / Coefficient de dilatation thermique

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Dureté (HK)

2000 HK

电阻 / Résistance

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Stabilité thermique

<2500℃

石墨尺寸变化 / Modifications de la taille du graphite

-10 à -20 µm

涂层厚度 / Épaisseur du revêtement

≥20 µm valeur typique (35 µm ±10 µm)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie spécialisée dans la production et la vente de matériaux de pointe, notamment le graphite, le carbure de silicium, la céramique et le traitement de surface. Ses produits sont largement utilisés dans les secteurs du photovoltaïque, des semi-conducteurs, des énergies nouvelles et de la métallurgie.

Notre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, pourrons en discuter plus en détail !

生产设备

公司客户

 

 


  • Précédent:
  • Suivant:

  • Chat en ligne WhatsApp !