LeRevêtement CVD TaCPlate Susceptor de vet-china est conçu pour des performances élevées dans les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Ce suscepteur présente un robusteRevêtement TaC (carbure de tantale), offrant une stabilité thermique, une résistance chimique et une durabilité exceptionnelles, ce qui en fait une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs et les applications à haute température. LeRevêtement CVD TaCassure une excellente résistance à l’oxydation et à l’usure, permettant au suscepteur de conserver son intégrité et sa fonction dans des environnements difficiles.
vétérinaire-chineRevêtement CVD TaCPlate Susceptor se distingue par sa capacité à répartir uniformément la chaleur pendant les processus CVD, garantissant ainsi un dépôt précis des couches et améliorant l'efficacité de la fabrication des semi-conducteurs. Le revêtement Ta-C offre une protection supplémentaire contre la corrosion chimique, prolongeant la durée de vie du suscepteur et améliorant les performances globales. Combinant une technologie avancée de suscepteur CVD et des revêtements chimiques TaC de haute qualité, ce suscepteur est un composant clé pour les industries exigeant précision et fiabilité dans des environnements à haute température.
Qu'il soit utilisé dans la production de semi-conducteurs ou dans d'autres applications de haute technologie, leSuscepteur à plaque revêtue de CVD TaCest conçu pour répondre aux exigences de la fabrication moderne. Soutenu par la réputation d'innovation et de qualité de Semicera, ce produit offre des performances supérieures et une durabilité durable, ce qui en fait un choix de confiance pour les processus CVD.
Le revêtement TaC est une sorte de revêtement en carbure de tantale (TaC) préparé par la technologie de dépôt physique en phase vapeur. Il présente les caractéristiques suivantes :
1. Dureté élevée : la dureté du revêtement TaC est élevée, peut généralement atteindre 2500-3000HV, c'est un excellent revêtement dur.
2. Résistance à l'usure : le revêtement TaC est très résistant à l'usure, ce qui peut réduire efficacement l'usure et les dommages des pièces mécaniques pendant l'utilisation.
3. Bonne résistance aux hautes températures : le revêtement TaC peut également maintenir ses excellentes performances dans un environnement à haute température.
4. Bonne stabilité chimique : le revêtement TaC a une bonne stabilité chimique et peut résister à de nombreuses réactions chimiques, telles que les acides et les bases.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriétés physiques de TaC revêtement | |
| 密度/ Densité | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Émissivité spécifique | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Coefficient de dilatation thermique | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Dureté (HK) | 2000 Hong Kong |
| 电阻 / Résistance | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Stabilité thermique | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Modifications de la taille du graphite | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Épaisseur du revêtement | Valeur typique ≥20um (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie axée sur la production et la vente de matériaux avancés haut de gamme, de matériaux et de technologies couvrant le graphite, le carbure de silicium, la céramique, le traitement de surface, etc. Les produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.
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