Anneau en graphite recouvert de carbure de tantale poreux

Anneau en graphite recouvert de carbure de tantale poreux
graphite recouvert de carbure de tantale poreux (TaC)Le carbure de tantale (TaC) est un matériau clé développé spécifiquement pour les environnements à haute température et hautement corrosifs de la fabrication des semi-conducteurs. Son substrat est constitué de graphite isostatique de haute pureté, recouvert d'une couche de carbure de tantale uniformément poreuse par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Le TaC possède une dureté extrêmement élevée (9-10 sur l'échelle de Mohs) et un point de fusion de 3 880 °C. Associé à l'excellente stabilité thermique et à la légèreté du graphite, ce matériau allie résistance aux hautes températures, aux attaques chimiques et aux chocs thermiques, ce qui en fait un choix idéal pour les équipements de traitement des semi-conducteurs fonctionnant dans des conditions extrêmes.

Avantages du graphite de carbure de tantale poreux :
1. Résistance à la corrosion ultra-élevée
-TaC est chimiquement inerte, résistant efficacement à la corrosion par les halogènes tels que le fluor et le chlore, ce qui prolonge considérablement la durée de vie des équipements.
-La structure poreuse augmente la surface du revêtement, formant une barrière protectrice plus robuste et réduisant le risque de détachement de particules.
2. Excellente stabilité à haute température
-Avec un point de fusion approchant les 4000°C, il peut fonctionner pendant de longues périodes sous vide ou dans des atmosphères inertes dépassant 2500°C.
-Le coefficient de dilatation thermique du revêtement est parfaitement adapté à celui du graphite, empêchant ainsi les fissures et le délaminage causés par les cycles thermiques.
3. Haute pureté et faible contamination
- L'utilisation de matières premières et de procédés de qualité semi-conducteurs permet d'obtenir une teneur en impuretés métalliques extrêmement faible, réduisant ainsi considérablement le risque de contamination des plaquettes.
-La surface est dense et chimiquement stable, ce qui réduit la génération de particules et répond aux normes strictes des salles blanches.
4. Conception personnalisée
Des formes complexes peuvent être produites selon les dessins du client, et la porosité et l'épaisseur du revêtement peuvent être contrôlées pour obtenir un flux de gaz et une conductivité thermique optimaux.
5. Longue durée de vie et faibles coûts d'entretien
La résistance extrêmement élevée à la corrosion et à l'usure des revêtements poreux en TaC augmente la durée de vie des composants de 3 à 5 fois par rapport au graphite traditionnel, réduisant ainsi la fréquence de remplacement et les coûts de maintenance.

Principales applications
1. Composants essentiels pour la fabrication de plaquettes
- Revêtements de chambre de réaction, chicanes et têtes de douche pour équipements CVD/ALD
- Supports de la cible PVD
- Composants de procédés à haute température pour la diffusion, l'oxydation, le recuit et autres procédés
2. Systèmes de dépôt chimique en phase vapeur
- Protection des composants clés dans les environnements hautement corrosifs (tels que les fluorures et les chlorures) pendant le processus
3. Autres environnements corrosifs à haute température
- Convient à la purification chimique des gaz, aux fours de traitement thermique spécialisés et à d'autres applications.