Plateau de support revêtu de carbure de silicium résistant à la corrosion

Brève description :

Le plateau de support revêtu de carbure de silicium VET Energy est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue période. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une excellente uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Plateau de support en carbure de siliciumis a clécomposant utilisé dans divers procédés de fabrication de semi-conducteurs.Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer le support en carbure de silicium avecpureté extrêmement élevée,bienrevêtementuniformitéet une excellente durée de vie, ainsi quepropriétés de résistance chimique et de stabilité thermique élevées.

VET Energy est levéritable fabricant de produits personnalisés en graphite et carbure de silicium avec revêtement CVD,peut fournirdiverspièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque. ONotre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.

Nous développons continuellement des procédés avancés pour fournir des matériaux plus avancés,etont mis au point une technologie brevetée exclusive, qui permet de rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.

Fcaractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700°C.
2. Haute pureté etuniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

maladies cardiovasculaires SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du SiC CVDrevêtement
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure cristalline	Phase β du FCC多晶，主要为（111)
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
晶粒大小 / Granulométrie	2 à 10 μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
热容 / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 / Module de Young	430 Gpa 4pt courbé, 1300℃
导热系数 / ThermalConductivité	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1