Graphit-Segmentringe mit Tantalcarbid-Beschichtung

Kurze Beschreibung:

Die Beliebtheit von 8-Zoll-Wafern aus Siliziumkarbid (SiC) hat die Temperaturanforderungen von Halbleiterprozessen strenger gemacht.Herkömmliche Grundmaterialien können den Tests in Umgebungen mit hohen Temperaturen jedoch nicht standhalten und neigen zur Sublimation und Beschädigung des Epitaxieprozesses.Glücklicherweise bieten Ihnen die CvD-Tantalcarbid (TaC)-Produkte von Semicera eine zuverlässige Lösung.Unser Tantalcarbid (TaC) verfügt über eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit, hält extremen Temperaturen bis zu 2300 Grad Celsius stand und bietet eine längere Lebensdauer.Kontaktieren Sie Semicera noch heute, um mehr über unsere fortschrittlichen Lösungen zu erfahren, einschließlich maßgeschneiderter Optionen für mit Tantalkarbid beschichtete Abdeckplatten.


Produktdetail

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Die TaC-Beschichtung ist eine Art Tantalkarbid (TaC)-Beschichtung, die durch physikalische Gasphasenabscheidungstechnologie hergestellt wird und die folgenden Eigenschaften aufweist:

1. Hohe Härte: Die TaC-Beschichtungshärte ist hoch, kann normalerweise 2500–3000 HV erreichen und ist eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.

2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.

3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung kann ihre hervorragende Leistung auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen beibehalten.

4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und kann vielen chemischen Reaktionen wie Säuren und Basen widerstehen.

TaC-Beschichtung9
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碳化钽涂层物理特性物理特性

Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung

密度/ Dichte

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Spezifischer Emissionsgrad

0,3

热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Härte (HK)

2000 HK

电阻 / Widerstand

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Thermische Stabilität

<2500℃

石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen

-10~-20um

涂层厚度 / Beschichtungsdicke

≥20um typischer Wert (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ist ein High-Tech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb hochwertiger fortschrittlicher Materialien konzentriert. Die Materialien und Technologien umfassen Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung usw.Die Produkte werden häufig in den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter, neue Energie, Metallurgie usw. eingesetzt.

Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen für Sie bereitstellen.

Wir heißen Sie herzlich willkommen, unsere Fabrik zu besuchen. Lassen Sie uns weitere Gespräche führen!

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