SiC-beschichtete Graphit-Träger

Abbildung: Träger mit SiC-beschichtetem Graphitsockel

Kurzbeschreibung:

Der SiC-beschichtete Graphitträger von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine gleichbleibende und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Er zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Homogenität, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist somit die ideale Lösung für Waferbearbeitungsanwendungen.

Herkunftsort:China

Kristallstruktur:FCCβ-Phase

Dichte :3,21 g/cm

Härte:2500 Vickers

Korngröße:2–10 μm

Chemische Reinheit:99,99995 %

Wärmekapazität:640 J·kg-1·K-1

Sublimationstemperatur:2700℃

Fingerkraft:415 MPa (RT 4-Punkt)

Elastizitätsmodul:430 Gpa (4pt Biegung, 1300℃)

Wärmeausdehnung (CTE):4,5 10-6K-1

Wärmeleitfähigkeit:300 (W/MK)

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Produktdetails

Produkt-Tags

SiC-beschichteter Graphitträgerist eine Schlüsselkomponente in verschiedenen Halbleiterfertigungsprozessen. Wir nutzen unsere patentierte Technologie, um den Siliziumkarbidträger mit extrem hoher Reinheit, guter Beschichtungsgleichmäßigkeit und ausgezeichneter Lebensdauer sowie hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Stabilität herzustellen.

Merkmale unserer Produkte:

1. Hohe Oxidationsbeständigkeit bis zu 1700℃.
2. Hohe Reinheit und thermische Gleichmäßigkeit
3. Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit: gegenüber Säuren, Laugen, Salzen und organischen Reagenzien.
4. Hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.
5. Längere Lebensdauer und höhere Strapazierfähigkeit.

Siliziumkarbidbeschichtetes Graphitsubstrat für Halbleiter

https://www.vet-china.com/sic-carriersusceptor.html/

VET Energy ist ein professioneller Hersteller, der sich auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von hochwertigen, fortschrittlichen Materialien wie Graphit, Siliciumcarbid und Quarz sowie auf Materialbehandlungen wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. spezialisiert hat. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, der Halbleiterindustrie, der neuen Energiewirtschaft, der Metallurgie usw.

Unser technisches Team stammt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen daher professionellere Materiallösungen anbieten.

Zu den Vorteilen von VET Energy gehören:
• Eigene Fabrik und professionelles Labor;
• Branchenführende Reinheit und Qualität;
• Wettbewerbsfähiger Preis & Schnelle Lieferzeit;
• Zahlreiche Branchenpartnerschaften weltweit;

Wir freuen uns, Sie jederzeit in unserer Fabrik und unserem Labor begrüßen zu dürfen!